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大型半導體精密陶瓷零件

大型半導體精密陶瓷零件

達陣產出的精密陶瓷零件結構強度好、耐高溫、耐高壓、精度好、平行度好、組織緻密均勻、強度高。一直為各半導體生產工廠所採用。

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特殊異型精密陶瓷零件

特殊異型精密陶瓷零件

達陣有一群優異的工程師,在陶瓷異形加工項目上有著獨特優異的技術,異形加工技術是達陣公司的強項。

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Touch-Down公司簡介

達陣科技股份有限公司是台灣一家專業在精密陶瓷產業的製造服務商. 成立於西元1997年並擁有超過30年的碳化矽, 氧化鋁, 氧化鋯, 995氧化鋁, 997氧化鋁, 精密陶瓷, 先進陶瓷, 結構陶瓷, 精密陶瓷件, 可加工陶瓷件, 陶瓷模具配件製造經驗, Touch-Down總是可以達到客戶各種品質的要求.

材料特性

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  • 氧化鋁材料特性
    精密陶瓷, 先進陶瓷, Alumina Ceramics, Al₂O₃, 氧化鋁

    TOUCH-DOWN達陣科技公司生產的精密陶瓷零件、可依客戶的需求選用高純度陶瓷原料製成92~97%氧化鋁, 99.5%氧化鋁, 99.9%氧化鋁,經過CIP冷等靜壓成型、高溫燒結和精密加工而成,尺寸精度可達± 0.001mm ,光潔度可達Ra0.1 ,使用溫度最高可達1600 度。亦可依客戶的需求製成不同顏色陶瓷,例如:黑色、白色、米黃色、暗紅色…等。我公司生產的精密陶瓷零件具有耐高溫、耐腐蝕、耐磨、絕緣等性能,可在高溫、真空以及具腐蝕性的氣體環境中長期使用。廣泛應用於各種半導體生產設備:Frames(陶瓷支架)、Dome(罩)、Substrate(基座)、Arm(機械手)、Tray(托盤)、Roller(滾軸)、Small Part(小部件)、Bolt(螺牙)、Screw(螺絲)等產品上面。高純氧化鋁陶瓷之應用: 1. 應用於半導體設備:陶瓷真空吸盤、切割盤、清洗盤、陶瓷CHUCK 2. 晶圓傳輸部件:晶圓搬運吸盤、晶圓切割盤、晶圓清洗盤、晶圓光學檢測吸盤 3. LED/LCD平板顯示器產業:陶瓷吸嘴、陶瓷研磨盤、LIFT PIN、PIN Guide 4. 光通訊、太陽能產業:陶瓷管、陶瓷棒、電路板網印陶瓷刮刀 5. 耐熱和電絕緣部件:陶瓷軸承目前氧化鋁陶瓷分為高純和普通兩種。高純氧化鋁陶瓷系列是含Al₂O₃含量超過99.9%的陶瓷材料。由於其燒結溫度高達1650-1990°C和1~6 μm傳輸波長,通常製成熔融玻璃代替鉑坩堝:利用其透光率和鹼金屬的耐腐蝕性能,可作為鈉管;在電子行業中,它可以被用來作為積體電路基板高頻絕緣材料。根據氧化鋁含量的不同,普通型氧化鋁陶瓷系列分為99種陶瓷、95種陶瓷、90種陶瓷和85種陶瓷等。有時,氧化鋁含量為80%或75%的陶瓷也被列為普通氧化鋁陶瓷系列。其中99種氧化鋁陶瓷材料用於生產高溫坩堝、耐火爐管和特殊耐磨材料,如陶瓷軸承、陶瓷密封件和閥片等。95氧化鋁陶瓷主要用作耐腐蝕耐磨部件。85陶瓷往往混雜在一些性能,從而提高了電氣性能和機械強度。它可以用鉬、鈮、鉭等金屬密封,有的用作電真空器件。


  • 氧化鋯材料特性
    精密陶瓷, 先進陶瓷, ZrO₂

    氧化鋯在精密陶瓷產品中,常溫使用狀態下具有很好的機械強度。熱膨脹率和金屬相近,與金屬材質組合使用尤為適合。具有導熱率低的性能,韌性高,是一種克服陶瓷太脆易碎缺點的產品。氧化鋯是由 Hussak 於 1892 年發現。 以天然礦石鋯英砂或斜鋯石存在。 純氧化鋯以單斜晶、正方晶及立方晶結構存在。 氧化鋯是可以提供高強度、高韌性、高硬度,以及優異的化學腐蝕性與耐磨性。 全世界80%鋯英砂產地集中在澳洲、南非以及美國三個國家。由鋯英砂提煉氧化鋯之方法有氯化法與熱解法。應用在耐火材料、脫蠟鑄造及高品質粉體之原料。 斜鋯石主要產地則在南非、巴西及蘇聯,其主 要應用在磨料市場及陶瓷染料。 氧化鋯在室溫為單斜晶相,溫度上升到1170°C時會轉變成正方晶相,再上升至2370°C時則轉 換成立方晶相,而立方晶相則在2680°C溶解成液相,正方晶轉換成單斜晶是一種麻田散型的轉換,這種相轉換會產生3-5%體積變化造成微裂縫。後來發展出 添加氧化鎂、氧化鈣等相安定劑,使氧化鋯在室溫時亦能維持著高溫穩定相之立方晶相,稱為安定化氧化鋯;若添加氧化釔相安定劑而保有部分的正方晶相者,稱為部分安定化氧化鋯。氧化鋯導熱陶瓷ZrO₂為純白色,含雜質時呈黃色或灰色,一般含有HfO₂,不易分離。氧化鋯陶瓷的生產要求製備高純、分散性能好、粒子超細、粒度分佈窄的粉體,氧化鋯超細粉末的製備方法很多,氧化鋯的提純主要有氯化和熱分解法、鹼金屬氧化分解法、石灰熔融法、等離子弧法、沉澱法、膠體法、水解法、噴霧熱解法等。


  • 碳化矽的特性
    SiC

    碳化矽它具有硬度僅次於金剛石和碳化硼,具有高耐磨性,因此用於滑動部件(機械密封等)。此外,它具有高的楊氏模量和小的熱膨脹係數,因此用於需要高精度的部件(光學部件,基板等)。由於是緻密的燒結體,因此可以進行鏡面加工。耐高溫超過1400°C,耐熱衝擊,具有優異的化學穩定性。做為SiC手,SiC護套,薄板產品和厚壁產品。達陣科技加工高純度SiC(高純度碳化矽)材料,常被用作半導體製造設備的零件。碳化矽(SiC)精密陶瓷加工 碳化矽材料比人工合成氧化鋁,氮化矽材料具有更高的機械強度,特別是在耐高溫,耐磨耗,耐腐蝕方面表現更好。主要特點: ・更優秀的耐磨耗性。 ・更優秀的耐腐蝕性。 ・耐氧化性優秀。 ・熱傳導率高,熱傳導效果好。 ・高溫環境下強度仍不改變。 ・熱傳導率高,熱傳導效果好。應用領域: ・粉碎機的耐磨耗部件。 ・陶瓷軸承,熱交換器。 ・化學品泵浦部件,各種噴嘴。 ・高溫切削工具,耐火板。 ・機械類耐磨部件。 ・制鋼還原材,避雷器。 ・其他半導體製造用備件。


  • 氮化矽的特性
    Silicon Nitride (Si₃N₄)

    氮化矽陶瓷對熱、衝擊及撞擊皆具有高度抗性。卓越的耐熱性及抗衝擊性加之高強度,使得氮化矽成為高溫、高負載應用之優先選擇。氮化矽陶瓷的常見應用為半導體加工設備,一般工業機械,耐熱零件。氮化矽是一種重要的結構陶瓷材料。它是一種超硬物質,本身具有潤滑性,並且耐磨損,為原子晶體;高溫時抗氧化。而且它還能抵抗冷熱衝擊,在空氣中加熱到1000°C以上,急劇冷卻再急劇加熱,也不會碎裂。正是由於氮化矽陶瓷具有如此優異的特性,人們常常利用它來製造軸承、氣輪機葉片、機械密封環、永久性模具等機械構件。如果用耐高溫而且不易傳熱的氮化矽陶瓷來製造發動機部件的受熱面,不僅可以提高柴油機品質,節省燃料,而且能夠提高熱效率。我國及美國、日本等國家都已研製出了這種柴油機。


  • 石英的特性
    SiO₂

    石英就如同名字一般,是玻璃的一種,但是比較特別的是一般的玻璃是由許多成分所構成,而石英只含有SiO₂成分。因為石英之中所含有的金屬不純物的量非常極少,最多也僅含有10ppm(10萬分之一),最少狀態通常僅有10ppb(1億分之1)以下。因為本身的純度極高,因此石英本身擁有其他玻璃所無法呈現出的特性及優點。石英(SiO₂)材料具有極低的熱膨脹係數、高耐溫性、高耐磨耗性、良好的化學穩定性、電絕緣性、低而穩定的延滯性、近紫(紅)外線可見光穿透性、高機械性能等。因此高純度石英材料被廣泛應用於現代電子科技、半導體、通訊、電光源、太陽能、國防高精密量測儀器、實驗室理化儀器、核能、奈米產業等。半導體的應用,半導體在制程中主要石英材料應用為石英爐管、石英晶舟、石英環、石英槽、視窗、制程設備等相關之石英元件。石英加工內容包括:平面研磨,拋光,圓筒切削,切斷,槽加工,曲線加工,異形加工,超微細打眼開洞,薄膜塗層等。



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