氧化鋁材料特性
精密陶瓷, 先進陶瓷, Alumina Ceramics, Al₂O₃, 氧化鋁
TOUCH-DOWN達陣科技公司生產的精密陶瓷零件、可依客戶的需求選用高純度陶瓷原料製成92～97%氧化鋁，99.5%氧化鋁，99.9%氧化鋁，經過CIP冷等靜壓成型、高溫燒結和精密加工而成，尺寸精度可達± 0.001mm，光潔度可達Ra0.1，使用溫度最高可達1600 度。亦可依客戶的需求製成不同顏色陶瓷，例如：黑色、白色、米黃色、暗紅色…等。我公司生產的精密陶瓷零件具有耐高溫、耐腐蝕、耐磨、絕緣等性能，可在高溫、真空以及具腐蝕性的氣體環境中長期使用。
廣泛應用於各種半導體生產設備：Frames (陶瓷支架)、Dome (罩)、Substrate (基座)、Arm (機械手)、Tray (托盤)、Roller (滾軸)、Small Part (小部件)、Bolt (螺牙)、Screw (螺絲)等產品上面。
高純氧化鋁陶瓷之應用：
1. 應用於半導體設備：陶瓷真空吸盤、切割盤、清洗盤、陶瓷CHUCK
2. 晶圓傳輸部件：晶圓搬運吸盤、晶圓切割盤、晶圓清洗盤、晶圓光學檢測吸盤
3. LED/LCD平板顯示器產業：陶瓷吸嘴、陶瓷研磨盤、LIFT PIN、PIN Guide
4. 光通訊、太陽能產業：陶瓷管、陶瓷棒、電路板網印陶瓷刮刀
5. 耐熱和電絕緣部件：陶瓷軸承
目前氧化鋁陶瓷分為高純和普通兩種。高純氧化鋁陶瓷系列是含Al₂O₃含量超過99.9%的陶瓷材料。由於其燒結溫度高達1650－1990°C和1～6 μm傳輸波長，通常製成熔融玻璃代替鉑坩堝：利用其透光率和鹼金屬的耐腐蝕性能，可作為鈉管；在電子行業中，它可以被用來作為積體電路基板高頻絕緣材料。根據氧化鋁含量的不同，普通型氧化鋁陶瓷系列分為99種陶瓷、95種陶瓷、90種陶瓷和85種陶瓷等。有時，氧化鋁含量為80%或75%的陶瓷也被列為普通氧化鋁陶瓷系列。其中99種氧化鋁陶瓷材料用於生產高溫坩堝、耐火爐管和特殊耐磨材料，如陶瓷軸承、陶瓷密封件和閥片等。95氧化鋁陶瓷主要用作耐腐蝕耐磨部件。85陶瓷往往混雜在一些性能，從而提高了電氣性能和機械強度。它可以用鉬、鈮、鉭等金屬密封，有的用作電真空器件。
| 品質項目(代表值) | 品名 | AES-12 | AES-11 | AES-11C | AES-11F | AES-22S | AES-23 | AL-31-03 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 化學組成低鈉易燒結品 | H₂O | % | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
| L.O.l | % | 0.1 | 0.2 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | |
| Fe₂0₃ | % | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | |
| SiO₂ | % | 0.03 | 0.03 | 0.03 | 0.03 | 0.02 | 0.04 | 0.04 | |
| Na₂O | % | 0.04 | 0.04 | 0.04 | 0.04 | 0.02 | 0.04 | 0.03 | |
| MgO* | % | - | 0.11 | 0.05 | 0.05 | - | - | - | |
| Al₂0₃ | % | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | |
| 中心粒徑 (MT-3300, 雷射分析法) | μm | 0.44 | 0.43 | 0.39 | 0.47 | 1.1 | 2.2 | 3.0 | |
| α 結晶粒度大小 | μm | 0.3 | 0.3 | 0.3 | 0.3 | 0.3 ~ 1.0 | 0.3 ~ 4 | 0.3 ~ 4 | |
| 成形密度** | g/cm³ | 2.22 | 2.22 | 2.20 | 2.17 | 2.35 | 2.57 | 2.56 | |
| 燒結密度** | g/cm³ | 3.88 | 3.93 | 3.94 | 3.93 | 3.88 | 3.77 | 3.22 | |
| 燒成線收縮率** | % | 17 | 17 | 18 | 18 | 15 | 12 | 7 | |
*MgO不包括在計算Al₂O₃純度中。
*無助焊劑，29.4MPa（300kg / cm²)，燒結溫度1600°C。
AES-11 / 11C / 11F：添加0.05 ~ 0.1% MgO，具有優異的燒結性，因此適用於純度為99%以上的氧化鋁陶瓷。
AES-22S：具有成型密度高，燒結線收縮率低的特點，適用於要求尺寸精度的滑模鑄造等大型產品。
AES-23 / AES-31-03：具有比AES-22S更高的成型密度，觸變性和低粘度。 前者用於陶瓷，後者作為耐火材料的減水劑而受歡迎。
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