碳化矽的特性

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碳化矽(SiC)精密陶瓷加工

碳化矽的特性

SiC

碳化矽它具有硬度僅次於金剛石和碳化硼,具有高耐磨性,因此用於滑動部件(機械密封等)。

此外,它具有高的楊氏模量和小的熱膨脹係數,因此用於需要高精度的部件(光學部件,基板等)。

由於是緻密的燒結體,因此可以進行鏡面加工。耐高溫超過1400°C,耐熱衝擊,具有優異的化學穩定性。做為SiC手,SiC護套,薄板產品和厚壁產品。達陣科技加工高純度SiC(高純度碳化矽)材料,常被用作半導體製造設備的零件。


碳化矽(SiC)精密陶瓷加工
碳化矽材料比人工合成氧化鋁,氮化矽材料具有更高的機械強度,特別是在耐高溫,耐磨耗,耐腐蝕方面表現更好。

主要特點:
● 更優秀的耐磨耗性。
● 更優秀的耐腐蝕性。
● 耐氧化性優秀。
● 熱傳導率高,熱傳導效果好。
● 高溫環境下強度仍不改變。
● 熱傳導率高,熱傳導效果好。

應用領域:
● 粉碎機的耐磨耗部件。
● 陶瓷軸承,熱交換器。
● 化學品泵浦部件,各種噴嘴。
● 高溫切削工具,耐火板。
● 機械類耐磨部件。
● 制鋼還原材,避雷器。
● 其他半導體製造用備件。

碳化矽(SiC)特性
一般特性主要成分純度 (wt%)97
顏色黑色
密度 (g/cm³)3.1
吸水性 (%)0
機械特性抗彎強度 (MPa)400
楊氏模量 (GPa)400
維氏硬度 (GPa)20
熱特性最高作業溫度 (°C)1600
熱膨脹係數 (1/°C x 10-6)RT~500°C3.9
RT~800°C4.3
導熱係數 (W/m x K)130 110
熱震抵抗 ΔT (°C)300
電特性體積電阻率25°C3 x 106
300°C-
500°C-
800°C-
介電常數10GHz-
介電耗損 (x 10-4)-
Q Factor (x 104)-
介電擊穿電壓 (KV/mm)-
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