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大型半導體精密陶瓷零件

大型半導體精密陶瓷零件

達陣產出的精密陶瓷零件結構強度好、耐高溫、耐高壓、精度好、平行度好、組織緻密均勻、強度高。一直為各半導體生產工廠所採用。

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特殊異型精密陶瓷零件

特殊異型精密陶瓷零件

達陣有一群優異的工程師,在陶瓷異形加工項目上有著獨特優異的技術,異形加工技術是達陣公司的強項。

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Touch-Down公司簡介

達陣科技股份有限公司是台灣一家專業在精密陶瓷產業的製造服務商. 成立於西元1997年並擁有超過30年的碳化矽, 氧化鋁, 氧化鋯, 995氧化鋁, 997氧化鋁, 精密陶瓷, 先進陶瓷, 結構陶瓷, 精密陶瓷件, 可加工陶瓷件, 陶瓷模具配件製造經驗, Touch-Down總是可以達到客戶各種品質的要求.

碳化矽的特性

SiC

碳化矽(SiC)精密陶瓷加工
碳化矽(SiC)精密陶瓷加工

碳化矽它具有硬度僅次於金剛石和碳化硼,具有高耐磨性,因此用於滑動部件(機械密封等)。

此外,它具有高的楊氏模量和小的熱膨脹係數,因此用於需要高精度的部件(光學部件,基板等)。

由於是緻密的燒結體,因此可以進行鏡面加工。耐高溫超過1400°C,耐熱衝擊,具有優異的化學穩定性。做為SiC手,SiC護套,薄板產品和厚壁產品。達陣科技加工高純度SiC(高純度碳化矽)材料,常被用作半導體製造設備的零件。

碳化矽(SiC)精密陶瓷加工
碳化矽材料比人工合成氧化鋁,氮化矽材料具有更高的機械強度,特別是在耐高溫,耐磨耗,耐腐蝕方面表現更好。

主要特點:
・更優秀的耐磨耗性。
・更優秀的耐腐蝕性。
・耐氧化性優秀。
・熱傳導率高,熱傳導效果好。
・高溫環境下強度仍不改變。
・熱傳導率高,熱傳導效果好。

應用領域:
・粉碎機的耐磨耗部件。
・陶瓷軸承,熱交換器。
・化學品泵浦部件,各種噴嘴。
・高溫切削工具,耐火板。
・機械類耐磨部件。
・制鋼還原材,避雷器。
・其他半導體製造用備件。

碳化矽(SiC)特性
一般特性主要成分純度 (wt%)97
顏色黑色
密度 (g/cm³)3.1
吸水性 (%)0
機械特性抗彎強度 (MPa)400
楊氏模量 (GPa)400
維氏硬度 (GPa)20
熱特性最高作業溫度 (°C)1600
熱膨脹係數 (1/°C x 10-6)RT~500°C3.9
RT~800°C4.3
導熱係數 (W/m x K)130 110
熱震抵抗 ΔT (°C)300
電特性體積電阻率25°C3 x 106
300°C-
500°C-
800°C-
介電常數10GHz-
介電耗損 (x 10-4)-
Q Factor (x 104)-
介電擊穿電壓 (KV/mm)-

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