大型半導体精密陶瓷零件

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大型半導体精密陶瓷零件

99.8%高純度的氧化鋁

應用於高真空或等離子體處理設備中

主要作為電絕緣、耐高溫及耐腐蝕的精密部件,包括腔體絕緣環、支撐環與專用安裝工具。
加工對象

半導體製程設備陶瓷零件,半導体設備用-大型精密陶瓷零件(250mm-550mm)。

類型

瓷環陶瓷零件。

主要特點

結構強度好、耐高溫、耐高壓、精度好、平行度好、組織緻密均勻、強度高。

主要產品

陶瓷螺栓、陶瓷軸、氧化鋯陶瓷、塞規、環規、氧化鋁陶瓷手臂、陶瓷圓盤、陶瓷環、微孔陶瓷真空吸盤、基片、陶瓷條、陶瓷導軌、各種異形件等。

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