Các bộ phận gốm chính xác cho thiết bị xử lý bán dẫn

Các tấm chắn buồng quy mô lớn và các thành phần xử lý gốm chính xác được thiết kế cho hệ thống xử lý wafer 300mm với độ chính xác và khả năng chịu nhiệt độ xuất sắc.

Các bộ phận gốm chính xác của thiết bị quy trình bán dẫn - Đây là một bộ phận gốm alumina có độ tinh khiết cao.
  • Các bộ phận gốm chính xác của thiết bị quy trình bán dẫn - Đây là một bộ phận gốm alumina có độ tinh khiết cao.
  • Vòng chắn gốm chính xác quy mô lớn cho buồng wafer 300mm (12 inch). Ứng dụng: Hệ thống khắc plasma khô, buồng lắng đọng CVD/PVD, máy cấy ion và chắn bên trong cho lò khuếch tán nhiệt độ cao.
  • Đế vòi phun gốm chính xác quy mô lớn / Bộ phân phối khí. Ứng dụng: Lắng đọng hơi hóa học (CVD), Lắng đọng lớp nguyên tử (ALD), hệ thống khắc plasma và các mô-đun cung cấp khí tiên tiến.
  • Các thành phần lõi quy trình bán dẫn: Đầu phun quy mô lớn & Lưỡi dao xử lý tiên tiến. Ứng dụng: thiết bị xử lý wafer 300mm (12-inch) (ALD/CVD/Etch), nền tảng đo quang học, môi trường chuyển giao chân không, và Xử lý Nhiệt Nhanh (RTP).

Các bộ phận gốm chính xác của thiết bị quy trình bán dẫn

Các lá chắn buồng quy mô lớn & các thành phần xử lý gốm sứ chính xác. Touch-Down tự hào có một nhóm kỹ sư xuất sắc và tận hưởng một công nghệ cao cấp độc đáo trong các dự án chế biến gốm sứ hình dạng đặc biệt. Công nghệ chế biến hình dạng đặc biệt là thế mạnh của Touch-Down.

 

Touch-Down sản xuất các bộ phận gốm chính xác có độ bền cấu trúc tốt, chịu nhiệt cao, chịu áp lực cao, độ chính xác tốt, độ song song tốt, mật độ cao và tổ chức đồng nhất. Trong nhiều năm qua, nó đã được sử dụng bởi nhà máy sản xuất bán dẫn.

Điều này chứng minh khả năng CNC xuất sắc của chúng tôi trong việc thực hiện các cắt hình học phức tạp và duy trì độ chính xác chặt chẽ trên các thân gốm siêu cứng lớn. Ứng dụng: Hệ thống khắc khô plasma, bảo vệ bên trong buồng CVD/PVD, lò khuếch tán nhiệt độ cao và hệ thống xử lý wafer tự động 300mm.

Đối tượng chế tạo

Khả năng sản xuất các thành phần gốm định dạng lớn từ 250mm đến 550mm, hoàn toàn hỗ trợ xử lý wafer 300mm (12-inch) và các công cụ đóng gói tiên tiến.

Loại

Các bộ phận gốm vòng gốm.

Tính năng chính

Các bộ phận gốm chính xác do Touch-Down sản xuất có độ bền cơ học tốt, chịu nhiệt cao, chịu áp lực cao, độ chính xác tốt, độ song song tốt, mật độ cao và tổ chức đồng nhất.

Các sản phẩm chính

Ống nối gốm, Trục gốm, Gốm zirconia, Đo cắm, Đo vòng, Cánh tay gốm nhôm oxit, Đĩa gốm, Vòng gốm, Mâm hút chân không gốm vi mô rỗ, Bề mặt, Gốm, Ray gốm, Các mảnh hình đặc biệt và nhiều hơn thế nữa.

Bộ Sưu Tập Ảnh
Sản Phẩm Liên Quan
Cánh tay gốm cho việc điều khiển wafer của bán dẫn - Công cụ kẹp gốm xử lý wafer bán dẫn được sử dụng để chuyển giao và định vị wafer trong thiết bị sản xuất bán dẫn.
Cánh tay gốm cho việc điều khiển wafer của bán dẫn

Touch-Down đã sản xuất cánh tay gốm cho đĩa wafer của bộ truyền động bán...

Thông tin chi tiết
Tải Xuống Tệp
Gốm Sứ Chính Xác
Gốm Sứ Chính Xác

Touch-Down - Đối tác lâu dài chính xác và chuyên nghiệp nhất. Chào mừng bạn đến thử nghiệm và chứng minh.

Tải xuống

Sản phẩm

Touch-Down Hồ sơ

Chào mừng bạn tải về Catalog 2022.

Có câu hỏi nào không?

Gọi cho chúng tôi :

cài đặt::tel

Cảm ơn bạn.

Thêm chi tiết

Làm thế nào bạn có thể đảm bảo rằng hệ thống khắc khô plasma và CVD/PVD của bạn duy trì hiệu suất ổn định với các tấm chắn buồng gốm chính xác?

Buồng gốm sứ chính xác của Touch-Down được thiết kế để chịu đựng nhiệt độ và áp suất cực cao trong khi vẫn duy trì độ chính xác và song song xuất sắc. 29 năm kinh nghiệm sản xuất của chúng tôi kết hợp với chứng nhận ISO 9001 đảm bảo thiết bị bán dẫn của bạn hoạt động với hiệu suất tối ưu. Chúng tôi cung cấp các thành phần định dạng lớn (250-550mm) hỗ trợ xử lý wafer 300mm đầy đủ với khả năng kỹ thuật tùy chỉnh phù hợp với yêu cầu thiết bị cụ thể của bạn. Liên hệ với đội ngũ của chúng tôi để khám phá cách mà các giải pháp gốm sứ chính xác của chúng tôi có thể tối ưu hóa độ tin cậy của quy trình của bạn.

Các linh kiện bán dẫn gốm của chúng tôi—bao gồm các bu lông gốm, trục, các bộ phận gốm zirconia, thước đo cắm, thước đo vòng, các cánh tay gốm alumina, đĩa gốm, vòng, các chấu chân không gốm vi lỗ, và các mảnh hình dạng đặc biệt theo yêu cầu—cho thấy khả năng CNC xuất sắc của chúng tôi trong việc thực hiện các cắt hình học phức tạp trên các khối gốm lớn, siêu cứng. Mỗi thành phần đều trải qua quy trình kiểm soát chất lượng nghiêm ngặt để đảm bảo độ chính xác tốt và tổ chức đồng nhất, đáp ứng các yêu cầu khắt khe của các nhà máy sản xuất bán dẫn trên toàn thế giới. Liên hệ với Touch-Down hôm nay để thảo luận về cách các giải pháp gốm sứ chính xác của chúng tôi có thể nâng cao hiệu suất và độ tin cậy của thiết bị xử lý bán dẫn của bạn.