חלקים קרמיים מדויקים עבור חצי מוליכים

חלקי קרמיקה מדויקים של ציוד תהליך חצי מוליך

מגני חדרים בקנה מידה גדול ורכיבי טיפול קרמיים מדויקים. Touch-Down מתהדר בקבוצת מהנדסים מצוינים ונהנה מטכנולוגיה ייחודית ובעלת פרופיל גבוה בפרויקטים של עיבוד קרמיקה בצורות מיוחדות. טכנולוגיית העיבוד בצורות מיוחדות היא החוזק של Touch-Down.

Touch-Down יוצר חלקי קרמיקה מדויקים המציגים כוח מבני טוב, עמידות בטמפרטורה גבוהה, עמידות בלחץ גבוה, דיוק טוב, פרלליזם טוב, צפיפות גבוהה וארגון אחיד. במשך שנים רבות, הוא משמש במפעלי ייצור חצי מוליכים.

Inquire Now

זה מדגים את יכולות ה-CNC יוצאות הדופן שלנו בביצוע חיתוכים גיאומטריים מורכבים ושמירה על סובלנות הדוקה על גופים קרמיים גדולים וקשיחים במיוחד. יישומים: מערכות חקיקה יבשה בפלזמה, מיגון פנימי של חדרי CVD/PVD, תנורי דיפוזיה בטמפרטורה גבוהה, ומערכות טיפול אוטומטיות בווייפר בגודל 300 מ"מ.

אובייקט עיבוד

יכולת לייצר רכיבי קרמיקה בפורמט גדול בטווח של 250 מ"מ עד 550 מ"מ, תומך לחלוטין בעיבוד שבבים בגודל 300 מ"מ (12 אינצ') ובכלים מתקדמים לאריזות.

סוג

חלקי טבעת קרמית.

מאפיינים עיקריים

חלקי קרמיקה בדיוק שנוצרו על ידי Touch-Down מציעים חוזק מבני טוב, עמידות בטמפרטורה גבוהה, עמידות בלחץ גבוה, דיוק טוב, פרלליזם טוב, צפיפות גבוהה וארגון אחיד.

המוצרים הראשיים

ברג קרמי, ציר קרמי, זירקוניה קרמית, מד תושבת, מד טבעת, זרוע קרמית אלומינה, דיסק קרמי, טבעת קרמית, צ'אק קרמי ואקום מיקרופורי, קרמיקה תת-רצפתית, רכבות קרמיות, חתיכות בצורה מיוחדת ועוד.

גלריה

ציוד חצי מוליך --- חלקי קרמיקה מדויקים בקנה מידה גדול (250 מ"מ - 550 מ"מ)
קרמיקה מדויקת מקיפה - טבעות בקנה מידה גדול ורכיבי חצי מוליך מותאמים אישית. טבעות חדר תהליך מתקדמות בגודל 300 מ"מ (12 אינצ') , מערכות השתלת יונים, הפקדה בשכבת CVD/PVD ומודולים לטיפול בשבבים בעלי דינמיקה גבוהה.
ציוד חצי מוליך --- חלקי קרמיקה מדויקים בקנה מידה גדול (250 מ"מ - 550 מ"מ)
ציוד חצי מוליך --- חלקי קרמיקה מדויקים בקנה מידה גדול (250 מ"מ - 550 מ"מ)
ציוד חצי מוליך --- חלקי קרמיקה מדויקים בקנה מידה גדול (250 מ"מ - 550 מ"מ)
ציוד חצי מוליך --- חלקי קרמיקה מדויקים בקנה מידה גדול (250 מ"מ - 550 מ"מ)
ציוד חצי מוליך --- חלקי קרמיקה מדויקים בקנה מידה גדול (250 מ"מ - 550 מ"מ)
אפקטור קצה קרמי-קוורץ מדויק (להב טיפול בשבבים) טיפול במטרולוגיה אופטית, איסוף והנחה מדויקת בסביבות ריקות, מודולים קדמיים של CVD ותהליכים מתקדמים רגישים לזיהום חלקיקים.
ציוד חצי מוליך --- חלקי קרמיקה מדויקים בקנה מידה גדול (250 מ"מ - 550 מ"מ)
טבעת קלאמפ קרמית מדויקת / פלטה עבור מערכות ואקום חצי מוליכות. טבעת קלאמפ קרמית מאלומינה טהורה עם עיצוב של לוגים בשלוש נקודות ודיאמטר פנימי מדורג מדויק לאבטחת רכיבי החדר.
טבעת קרמית מדויקת / טבעת החזקה עבור חדרי עיבוד חצי מוליכים. טבעת החזקה קרמית מדויקת מאלומינה טהורה עם תוספות הרכבה ממתכת וחיתוכים ליישור עבור ציוד חקיקה או הפקדה של חצי מוליכים.
ציוד חצי מוליך --- חלקי קרמיקה מדויקים בקנה מידה גדול (250 מ"מ - 550 מ"מ)
ציוד חצי מוליך --- חלקי קרמיקה מדויקים בקנה מידה גדול (250 מ"מ - 550 מ"מ)
ציוד חצי מוליך --- חלקי קרמיקה מדויקים בקנה מידה גדול (250 מ"מ - 550 מ"מ)
לוח הפצת גז קרמי מדויק עבור עיבוד חצי מוליכים. דיסק קרמי מאלומינה טהורה עם חריצי גז רדיאליים וחורי הרכבה מדויקים להפצת גז בחדרי PVD/CVD.
טבעת מבודדת קרמית מדויקת גדולה ודיסק קרמי עם חריצים עבור חדרי עיבוד חצי מוליכים מתקדמים, זמינים בגדלים מ-250 מ"מ עד 550 מ"מ.
ציוד חצי מוליך --- חלקי קרמיקה מדויקים בקנה מידה גדול (250 מ"מ - 550 מ"מ)
ציוד חצי מוליך --- חלקי קרמיקה מדויקים בקנה מידה גדול (250 מ"מ - 550 מ"מ)

מוצרים קשורים