Peças Cerâmicas de Precisão para Equipamentos de Processamento de Semicondutores

Escudos de câmara em grande escala e componentes de manuseio cerâmico de precisão projetados para sistemas de processamento de wafers de 300mm com precisão excepcional e resistência à temperatura

Peças Cerâmicas de Precisão para Equipamentos de Processamento de Semicondutores - Este é um conjunto de peças de cerâmica de alumina de alta pureza.
  • Peças Cerâmicas de Precisão para Equipamentos de Processamento de Semicondutores - Este é um conjunto de peças de cerâmica de alumina de alta pureza.
  • Anel de Escudo Cerâmico de Precisão em Grande Escala para Câmaras de Wafer de 300mm (12 polegadas). Aplicações: sistemas de gravação a plasma, câmaras de deposição CVD/PVD, implantadores de íons e blindagem interna para fornos de difusão de alta temperatura.
  • Base de Chuveiro Cerâmico de Precisão em Grande Escala / Distribuidor de Gás. Aplicações: Deposição Química de Vapor (CVD), Deposição de Camada Atômica (ALD), sistemas de gravação a plasma e módulos avançados de entrega de gás.
  • Componentes principais do processo de semicondutores: cabeçotes de chuveiro em grande escala e lâminas de manuseio avançadas. Aplicações: equipamentos de processamento de wafers de 300mm (12 polegadas) (ALD/CVD/Gravação), plataformas de metrologia óptica, ambientes de transferência a vácuo e Processamento Térmico Rápido (RTP).

Peças Cerâmicas de Precisão para Equipamentos de Processamento de Semicondutores

Escudos de Câmara em Grande Escala & Componentes de Manuseio Cerâmico de Precisão. Touch-Down conta com um grupo de engenheiros excelentes e desfruta de uma tecnologia de alto perfil única em projetos de processamento de cerâmica de forma especial. A tecnologia de processamento de forma especial é a força de Touch-Down.

 

Touch-Down produz peças de cerâmica de precisão com boa resistência estrutural, resistência a altas temperaturas, resistência a altas pressões, boa precisão, bom paralelismo, alta densidade e organização uniforme. Por muitos anos, tem sido utilizado pela fábrica de fabricação de semicondutores.

Isto demonstra nossas excepcionais capacidades de CNC na execução de cortes geométricos complexos e na manutenção de tolerâncias rigorosas em grandes corpos cerâmicos ultra-duros. Aplicações: Sistemas de gravação a seco por plasma, blindagem interna de câmaras CVD/PVD, fornos de difusão de alta temperatura e sistemas automatizados de manuseio de wafers de 300 mm.

Objeto de processamento

Capacidade de produzir componentes cerâmicos em grande formato variando de 250mm a 550mm, apoiando totalmente o processamento de wafers de 300mm (12 polegadas) e ferramentas de embalagem avançadas.

Tipo

Peças cerâmicas de anel cerâmico.

Principais características

As peças de cerâmica de precisão produzidas por Touch-Down possuem boa resistência estrutural, resistência a altas temperaturas, resistência a altas pressões, boa precisão, boa paralelismo, alta densidade e organização uniforme.

Os principais produtos

Parafuso de cerâmica, Eixo de cerâmica, Cerâmica de zircônia, Calibrador de plugue, Calibrador de anel, Braço de cerâmica de alumina, Disco de cerâmica, Anel de cerâmica, Mandril de vácuo de cerâmica microporosa, Substrato, Cerâmica, Trilhos de cerâmica, Peças com formatos especiais e assim por diante.

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Como você pode garantir que seus sistemas de gravação a seco por plasma e CVD/PVD mantenham desempenho consistente com escudos de câmara cerâmicos de precisão?

As câmaras de cerâmica de precisão do Touch-Down são projetadas para suportar temperaturas e pressões extremas, mantendo uma precisão e paralelismo excepcionais. Nossos 29 anos de experiência em fabricação combinados com a certificação ISO 9001 garantem que seu equipamento de semicondutores opere com máxima eficiência. Entregamos componentes de grande formato (250-550mm) suportando o processamento completo de wafers de 300mm com capacidades de engenharia personalizadas adaptadas às suas necessidades específicas de equipamento. Entre em contato com nossa equipe para explorar como nossas soluções cerâmicas de precisão podem otimizar a confiabilidade do seu processo.

Nossos componentes semicondutores de cerâmica—incluindo parafusos de cerâmica, eixos, peças de cerâmica de zircônia, gabaritos de plugue, gabaritos de anel, braços de cerâmica de alumina, discos de cerâmica, anéis, mandrils de vácuo de cerâmica microporosa e peças personalizadas de formas especiais—demonstram nossas excepcionais capacidades de CNC na execução de cortes geométricos complexos em grandes corpos cerâmicos ultra-duros. Cada componente passa por um rigoroso controle de qualidade para garantir boa precisão e organização uniforme, atendendo às exigências rigorosas exigidas pelas fábricas de semicondutores em todo o mundo. Entre em contato com Touch-Down hoje para discutir como nossas soluções cerâmicas de precisão podem melhorar o desempenho e a confiabilidade do seu equipamento de processamento de semicondutores.