Parti Ceramiche di Precisione per Semiconduttori | Touch-Down
Touch-Down produce parti ceramiche di alta precisione per attrezzature di lavorazione dei semiconduttori con tolleranza di precisione da 0.0001 a 0.0003 mm e certificazione ISO 9001.
Parti in ceramica di precisione per attrezzature di processo semiconduttore
Schermi a camera su larga scala e componenti di manipolazione ceramica di precisione. Touch-Down vanta un gruppo di ingegneri eccellenti e gode di una tecnologia unica e di alto profilo nei progetti di lavorazione ceramica di forma speciale. La tecnologia di lavorazione di forma speciale è il punto di forza di Touch-Down.
Touch-Down produce parti in ceramica di precisione caratterizzate da una buona resistenza strutturale, resistenza alle alte temperature, resistenza alle alte pressioni, buona precisione, buon parallelismo, alta densità e organizzazione uniforme. Da molti anni viene utilizzato dalle fabbriche di produzione di semiconduttori.
Questo dimostra le nostre eccezionali capacità CNC nell'eseguire tagli geometrici complessi e nel mantenere tolleranze strette su grandi corpi ceramici ultra-duri. Applicazioni: sistemi di incisione a secco al plasma, schermature interne delle camere CVD/PVD, forni di diffusione ad alta temperatura e sistemi automatizzati di gestione dei wafer da 300 mm.
Oggetto di lavorazione
Capacità di produrre componenti ceramici di grande formato che vanno da 250mm a 550mm, supportando completamente la lavorazione di wafer da 300mm (12 pollici) e strumenti di imballaggio avanzati.
Tipo
Parti ceramiche ad anello ceramico.
Caratteristiche principali
I pezzi in ceramica di precisione prodotti da Touch-Down presentano una buona resistenza strutturale, resistenza ad alta temperatura, resistenza ad alta pressione, buona precisione, buon parallelismo, alta densità e organizzazione uniforme.
I principali prodotti
Bullone in ceramica, albero in ceramica, ceramica di zirconia, calibro a spina, calibro ad anello, braccio in ceramica di allumina, disco in ceramica, anello in ceramica, mandrino in ceramica microporosa, substrato in ceramica, rotaie in ceramica, pezzi sagomati speciali e così via.
- Galleria
Attrezzature per semiconduttori --- parti ceramiche di precisione su larga scala (250mm - 550mm)
Ceramiche di precisione complete - Anelli su larga scala e componenti personalizzati per semiconduttori. Anelli per camere di processo avanzate da 300mm (12 pollici), sistemi di impiantazione ionica, deposizione di film sottili CVD/PVD e moduli di gestione dei wafer ad alta dinamica.
Attrezzature per semiconduttori --- parti ceramiche di precisione su larga scala (250mm - 550mm)
Attrezzature per semiconduttori --- parti ceramiche di precisione su larga scala (250mm - 550mm)
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Effettore finale ibrido ceramico-quarzo di precisione (lama per gestione wafer) per metrologia ottica, presa e posizionamento di precisione in ambienti a vuoto, moduli front-end CVD e processi avanzati sensibili alla contaminazione da particelle.
Attrezzature per semiconduttori --- parti ceramiche di precisione su larga scala (250mm - 550mm)
Anello di serraggio ceramico di precisione / Flangia per sistemi a vuoto per semiconduttori. Anello di serraggio in ceramica di allumina ad alta purezza con design a tre punti di attacco e diametro interno a gradini di precisione per il fissaggio dei componenti della camera.
Anello ceramico di precisione / Anello di ritenzione per camere di lavorazione dei semiconduttori. Anello di ritenzione ceramico di precisione ad alta purezza con inserti di montaggio in metallo e ritagli di allineamento per attrezzature di incisione o deposizione di semiconduttori.
Attrezzature per semiconduttori --- parti ceramiche di precisione su larga scala (250mm - 550mm)
Attrezzature per semiconduttori --- parti ceramiche di precisione su larga scala (250mm - 550mm)
Attrezzature per semiconduttori --- parti ceramiche di precisione su larga scala (250mm - 550mm)
Piastra di distribuzione del gas ceramica ad alta precisione per la lavorazione dei semiconduttori. Disco in ceramica di allumina ad alta purezza con scanalature radiali per gas e fori di montaggio di precisione per la distribuzione del gas nelle camere PVD/CVD.
Anello isolante ceramico di precisione di grandi dimensioni e disco ceramico forato per camere di lavorazione avanzate per semiconduttori, disponibili in dimensioni da 250mm a 550mm.
Attrezzature per semiconduttori --- parti ceramiche di precisione su larga scala (250mm - 550mm)
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La camera in ceramica di precisione di Touch-Down è progettata per resistere a temperature e pressioni estreme mantenendo un'eccezionale precisione e parallelismo. I nostri 29 anni di esperienza nella produzione, uniti alla certificazione ISO 9001, garantiscono che le vostre attrezzature per semiconduttori funzionino al massimo dell'efficienza. Forniamo componenti di grande formato (250-550mm) che supportano il trattamento completo di wafer da 300mm con capacità di ingegneria personalizzata adattate alle specifiche esigenze del tuo equipaggiamento. Contatta il nostro team per scoprire come le nostre soluzioni in ceramica di precisione possono ottimizzare l'affidabilità del tuo processo.
I nostri componenti semiconduttori in ceramica—compresi bulloni in ceramica, alberi, parti in ceramica di zirconia, calibro a spina, calibro ad anello, bracci in ceramica di allumina, dischi in ceramica, anelli, morsetti a vuoto in ceramica microporosa e pezzi speciali su misura—dimostrano le nostre eccezionali capacità CNC nell'eseguire tagli geometrici complessi su grandi corpi in ceramica ultra-dura. Ogni componente subisce un rigoroso controllo di qualità per garantire una buona precisione e un'organizzazione uniforme, soddisfacendo le specifiche esigenti richieste dagli impianti di produzione di semiconduttori in tutto il mondo. Contatta Touch-Down oggi per discutere di come le nostre soluzioni ceramiche di precisione possano migliorare le prestazioni e l'affidabilità delle tue attrezzature per il trattamento dei semiconduttori.