İyon Implantasyonu ve Hassas İşleme için Gelişmiş Seramik Bileşen Serisi.Uygulamalar: İyon İmplantasyonu, Optik Metrologi, Kimyasal Buhar Birikimi (CVD) ve ileri paketleme otomatik işleme
Ana Özellikler:
*İyon Implantasyon Cihazları için Hassas Bileşenler: Yüksek voltajlı yalıtkanlar, koruma halkaları ve elektrot bileşenleri dahil olmak üzere İyon Implantasyon sistemleri için özel olarak tasarlanmıştır. Yüksek saflıkta Alumina'dan üretilen bu parçalar, yoğun elektrik alanlarında kararlı çalışma için üstün dielektrik dayanım ve iyon bombardımanına karşı direnç sunar.
* Yüksek Dinamik Robot Uç Ekipmanları: Çeşitli wafer boyutları için optimize edilmiş çeşitli seramik bıçaklar sunar. Hafif, yüksek sertlikteki tasarım, alma ve yerleştirme işlemleri sırasında dinamik yanıtı artırır ve kolun ucundaki titreşimleri en aza indirir.
* Entegre Vakum Kanal Sistemleri: Entegre vakum emme kanalları için hassas aşındırma kullanır. Yüzey düzlüğü mikron seviyesinde toleranslarla korunur, bu da wafer'ın güvenli bir şekilde işlenmesini sağlarken fiziksel stres ve wafer arka yüzeyine zarar verme riskini en aza indirir.
Olağanüstü Çevresel Dayanıklılık: Plazma aşınmasına, korozyona ve termal döngülere karşı mükemmel direnç sağlar. Bileşenlerimiz parçacık kontaminasyonunu en aza indirir ve parçaların ömrünü ve Bakım Arası Ortalama Süreyi (MTBM) önemli ölçüde uzatır.
Tayvan Hsinchu Bilim Parkı'na yakın bir konumda bulunan, dünyaca ünlü bir bilim ve teknoloji kasabası olan tesisimiz, alümina, zirkonya, silikon nitrit, silikon karbür seramik üretim ve işleme konusunda 25 yılı aşkın bir süredir profesyonel deneyime sahiptir. Güçlü teknik güce, gelişmiş ekipmana ve zengin işleme deneyimine sahibiz. Şimdi birkaç hassas CNC ekipmanı, hassas makine araçları ve ürün kalitesi ve hassasiyetini sağlamak için çeşitli önde gelen işleme teknolojisi ve işleme araçları ile sofistike tespit ekipmanımız bulunmaktadır. Müşteri çizimlerine göre çeşitli özelliklere ve tiplere sahip hassas seramik parçaları üretebiliyoruz. Ürünlerimiz yüksek hassasiyet, iyi performans özellikleri taşımakta ve yarı iletken, fotovoltaik, hassas makine, askeri, tıbbi, bilimsel araştırma ve diğer alanlarda yaygın olarak kullanılmaktadır.
İşlenen Nesne
Yarı iletken işlem ekipmanı İmplante seramik parçaları.
Tip
İmplante seramik parçaları.
Ana Özellikler
Touch-Down, mükemmel mühendislerden oluşan bir grupla gurur duyar ve özel şekilli seramik işleme projelerinde benzersiz bir yüksek profilli teknolojiye sahiptir. Özel şekilli işleme teknolojisi, Touch-Down'un güçlü yönleridir.
Üretim Süreci
Yarı iletken Seramik Parçalar, İyon Implantörü Seramikleri, Alumina İzolasyon Blokları, Elektrot Kalkanları, Yüksek Voltajlı Seramik Direkler, Fab Bakım Parçaları.
Ana Ürünler
Seramik Cıvata, Seramik Mil, Zirkonya Seramik, Fiş Ölçer, Halka Ölçer, Alumina Seramik Kol, Seramik Disk, Seramik Yüzük, Mikroporoz Seramik Vakum Chuck, Altlık, Seramik, Seramik Raylar, Özel Şekilli Parçalar ve benzeri. Yarı İletken Seramikler, İyon Implantasyon Parçaları, Alumina İzolatörler, Hassas Seramik İşleme, İyon Kaynağı Tabanı, Vakum Geçişleri.
- Galeri
- Yarı İletken İşlem Ekipmanı İmplante Edici Seramik Parçaları
- Yarı İletken İşlem Ekipmanı İmplante Edici Seramik Parçaları
- Yüksek Saflıkta Seramik Kılavuz Çerçevesi / İzolasyon Lokasyonu. %99,7'den fazla yüksek saflıkta Alümina (Al2O3) kullanılarak üretilen bu bileşen, yarı iletken vakum odalarında yüksek stabilite gereksinimleri için tasarlanmıştır. Olağanüstü boyutsal stabilite ve plazma direnci sunar. Hassas deliklenmiş köşe delikleri, montaj sırasında doğru hizalamayı sağlarken, oval açıklık iyon ışınları veya işlem gazı akışı ile etkileşimi en aza indirmek için optimize edilmiştir.
- Yarı İletken İşlem Ekipmanı İmplante Edici Seramik Parçaları
- İyon Kaynağı Yüksek Voltaj İzolator Postası. Uygulamalar: AMAT (Applied Materials) ve Axcelis sistemleri dahil olmak üzere önde gelen İyon Implantasyon markaları için yedek parçalar.
- İyon Implantörleri için Kompozit Seramik İzolator Kılıfları. (Adım Seramik İzolator / Elektrot Kalkanı) Uygulamalar: İyon kaynağı koruma, ivme elektrotu desteği ve yüksek voltaj geçiş koruması.
- İyon Implantörleri için Hassas Çoklu Port Seramik Montaj Tabanı. İyon Kaynağı Hassas Hizalama & İzolasyon Bloğu. Uygulamalar: İyon Kaynağı modülleri için destek, filament elektrotu konumlandırma ve İyon Implantasyon sistemlerinde yüksek voltaj engelleri.
- İyon Implantörleri için Yuvalı Hassas Seramik İzolator Seti. (Modüler İyon Kaynağı İzolatoru / Elektrot Geçişi.) Yüksek ve Orta Akım İyon Implantasyon sistemlerinin İyon Kaynağı odalarında kullanılmak üzere özel olarak tasarlanmıştır.
- İyon Implantörleri için Çok Kanatlı Yüksek Voltaj Seramik İzolator. (Kanat tipi Elektrot Destek İzolatoru) İyon implantörlerinde ivme elektrotları için destek, yüksek voltaj güç izolasyonu ve odada HV geçiş koruması.
- Yarı İletken İşlem Ekipmanı İmplante Edici Seramik Parçaları
- İyon Implantörleri için Yüksek Saflıkta Alumina İki Port İzolasyon Flanşları. (İki Port Seramik İzolator / Vakum Geçiş Tabanı) Taban çapı yaklaşık 50mm; sütun yüksekliği yaklaşık 20-30mm (belirli P/N'ye bağlı olarak).
- Yarı İletken İşlem Ekipmanı İmplante Edici Seramik Parçaları
- Yarı İletken İşlem Ekipmanı İmplante Edici Seramik Parçaları
- Yarı İletken İşlem Ekipmanı İmplante Edici Seramik Parçaları
- Yarı İletken İşlem Ekipmanı İmplante Edici Seramik Parçaları
- Yarı İletken İşlem Ekipmanı İmplante Edici Seramik Parçaları
- Büyük Ölçekli Yüksek Hassasiyetli Çok Delikli Seramik Taban Plakası. (Hassas Seramik Elektrot Taşıyıcı / Vakum Odası Destek Plakası) İyon implantörleri için vakum odaları, PVD/CVD duş başlıkları için destek tabanları ve yüksek voltaj elektrot arka plakaları.
- Yarı İletken İşlem Ekipmanı İmplante Edici Seramik Parçaları
- İyon Implantasyonu için Yüksek Hassasiyetli Seramik Tüketim Malzemeleri. Yarı İletken Seramikler, İyon Implantör Parçaları, Alumina İzolatorlar, Hassas Seramik İşleme, İyon Kaynağı Tabanı, Vakum Geçişleri.
- Yarı İletken İşlem Ekipmanı İmplante Edici Seramik Parçaları
- Yarı İletken İşlem Ekipmanı İmplante Edici Seramik Parçaları
- Yarı İletken İşlem Ekipmanı İmplante Edici Seramik Parçaları
- İyon Implantörleri için Yüksek Son Hassasiyet Seramikler.
- Yarı İletken İşlem Ekipmanı İmplante Edici Seramik Parçaları
- Dosyaları İndir
Hassas Seramikler
Touch-Down - En doğru ve profesyonel uzun vadeli ortak. Deneme ve kanıtlama için hoş geldiniz.
İndirmek
İyon implantasyon sistemlerinizin yoğun elektrik alanları altında stabil çalışmasını nasıl sağlayabilir ve bakım süresini en aza indirebilirsiniz?
Touch-Down yüksek saflıkta alümina yalıtkanları ve elektrot bileşenleri, iyon bombardımanına ve yoğun elektrik alanlarına dayanacak şekilde özel olarak tasarlanmıştır. Olağanüstü dielektrik dayanımı ve plazma aşınmasına karşı mükemmel direnç sağlar. 0.0001-0.0003mm tolerans hassasiyeti ile ürettiğimiz ürünler, güvenilir performans sunar ve Bakım Arası Ortalama Süreyi (MTBM) önemli ölçüde uzatarak ekipmanınızın kesinti süresini ve işletme maliyetlerini azaltır.
29 yıllık profesyonel üretim uzmanlığımızı ve Tayvan'ın Hsinchu Bilim Parkı'na yakın konumumuzu kullanarak, Touch-Down gelişmiş hassas CNC ekipmanları, sofistike algılama sistemleri ve rafine işleme teknolojisi ile özel gereksinimlerinize uygun özel seramik çözümleri sunmaktadır. Yüksek dinamik robot uç efektörlerimiz, çeşitli wafer boyutları için optimize edilmiş farklı seramik bıçak dizileri sunarak, hafif, yüksek sertlikte tasarımlar sağlar. Bu tasarımlar, alma ve yerleştirme işlemleri sırasında dinamik yanıtı artırırken, kolun ucundaki titreşimleri en aza indirir. ISO 9001:2008 sertifikası ve tek adımda üretim yeteneği ile yarı iletken, fotovoltaik ve hassas makineler uygulamalarında sıkı kalite kontrolü ve tutarlı performans sağlıyoruz. Mühendislik ekibimizle bugün iletişime geçin, Touch-Down'ın hassas seramik bileşenlerinin yarı iletken süreç ekipmanınızın performansını ve güvenilirliğini nasıl optimize edebileceğini tartışalım.


