Pièces en céramique pour implanteurs d'ions | Touch-Down Céramiques de précision
Touch-Down fabrique des pièces en céramique pour implanteurs d'ions avec une tolérance de 0,0001 à 0,0003 mm. Isolateurs en alumine de haute pureté, passages sous vide et composants d'électrodes pour équipements semi-conducteurs.
Série de composants en céramique avancée pour l'implantation ionique et la manipulation de précision.Applications : Implantation ionique, Métrologie optique, Dépôt de vapeur chimique (CVD) et manipulation automatisée d'emballages avancés
Caractéristiques clés :
*Composants de Précision pour Implanteurs Ioniques : Conçus spécifiquement pour les systèmes d'implantation ionique, y compris les isolateurs haute tension, les anneaux de protection et les composants d'électrode. Fabriqués à partir d'alumine de haute pureté, ces pièces offrent une résistance diélectrique supérieure et une résistance au bombardement ionique pour un fonctionnement stable dans des champs électriques intenses.
* Effecteurs Terminaux de Robot à Haute Dynamique : Présente un large éventail de lames en céramique optimisées pour différentes tailles de plaquettes. La conception légère et à haute rigidité améliore la réponse dynamique lors des opérations de pick-and-place et minimise les vibrations en bout de bras.
* Systèmes de Canaux à Vide Intégrés : Utilise une gravure de précision pour des canaux de succion à vide intégrés. La planéité de surface est maintenue à des tolérances de niveau micronique, garantissant une manipulation sécurisée des plaquettes tout en minimisant le stress physique et les dommages sur la face arrière.
Durabilité Environnementale Exceptionnelle : Offre une résistance remarquable à l'érosion par plasma, à la corrosion et aux cycles thermiques. Nos composants minimisent la contamination particulaire et prolongent significativement la durée de vie des pièces et le Temps Moyen Entre Maintenance (TMEM).
Située près du parc scientifique de Taiwan Hsinchu, la ville renommée mondialement pour la science et la technologie, notre usine bénéficie de plus de 25 ans d'expérience professionnelle dans la production et le traitement d'alumine, de zircone, de nitrure de silicium, de carbure de silicium et de céramiques. Nous bénéficions d'une force technique solide, d'un équipement raffiné et d'une expérience de traitement riche. Maintenant, nous disposons de plusieurs équipements CNC de précision, de machines-outils de précision et d'une variété de technologies de traitement de pointe et d'outils de traitement ainsi que d'équipements de détection sophistiqués pour garantir la qualité et la précision des produits. Nous sommes en mesure de produire des pièces en céramique de précision selon les spécifications et les types requis par les clients, conformément aux dessins fournis. Nos produits se caractérisent par une grande précision, de bonnes performances et sont largement utilisés dans les domaines de la semi-conducteur, de la photovoltaïque, de la mécanique de précision, de la militaire, de la médicale, de la recherche scientifique et d'autres domaines.
Objet de traitement
Pièces en céramique pour implanteurs d'équipement de processus semi-conducteurs.
Taper
Pièces en céramique pour implanteurs.
Caractéristiques principales
Touch-Down compte un groupe d'excellents ingénieurs et bénéficie d'une technologie de pointe unique dans les projets de traitement de céramique spéciale. La technologie de traitement spéciale est l'un des points forts de Touch-Down.
Processus de production
Pièces en céramique semi-conductrices, céramiques pour implanteurs d'ions, blocs d'isolateurs en alumine, protection des électrodes, poteaux en céramique haute tension, pièces de maintenance de fabrication.
Les principaux produits
Boulon en céramique, arbre en céramique, céramique en zirconium, jauge de bouchon, jauge en anneau, bras en céramique d'alumine, disque en céramique, anneau en céramique, mandrin sous vide en céramique microporeux, substrat, céramique, rails en céramique, pièces de forme spéciale, etc. Céramiques semi-conductrices, pièces d'implanteur d'ions, isolateurs en alumine, usinage céramique de précision, base de source d'ions, passages sous vide.
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Pièces en céramique pour équipements de traitement des semi-conducteurs
Pièces en céramique pour équipements de traitement des semi-conducteurs
Cadre de guide en céramique de haute pureté / Localisateur isolant. Fabriqué à partir de >99,7 % d'alumine de haute pureté (Al2O3), ce composant est conçu pour des exigences de haute stabilité dans les chambres à vide des semi-conducteurs. Il présente une stabilité dimensionnelle exceptionnelle et une résistance au plasma. Les trous d'angle percés avec précision garantissent un alignement précis lors de l'installation, tandis que l'ouverture ovale est optimisée pour minimiser les interférences avec les faisceaux d'ions ou le flux de gaz de procédé.
Pièces en céramique pour équipements de traitement des semi-conducteurs
Poste d'isolateur haute tension pour source d'ions. Applications : pièces de rechange pour les principales marques d'implanteurs d'ions, y compris les systèmes AMAT (Applied Materials) et Axcelis.
Manchons isolateurs en céramique composite pour implanteurs d'ions. (Isolateur céramique à étapes / Protection d'électrode) Applications : protection de la source d'ions, support d'électrode d'accélération et protection de passage haute tension.
Base de montage céramique multi-port de précision pour implanteurs d'ions. Bloc de précision pour alignement de source d'ions et isolation. Applications : support pour modules de source d'ions, positionnement d'électrode à filament et barrières haute tension dans les systèmes d'implantation d'ions.
Ensemble d'isolateurs céramiques de précision imbriqués pour implanteurs d'ions. (Isolateur de source d'ions modulaire / Douille d'électrode.) Conçu spécifiquement pour une utilisation dans les chambres de source d'ions des systèmes d'implantation d'ions à courant élevé et moyen.
Isolateur céramique haute tension à plusieurs ailettes pour implanteurs d'ions. (Isolateur de support d'électrode de type ailette) Support pour électrodes d'accélération dans les implanteurs d'ions, isolation de puissance haute tension et protection de passage HV en chambre.
Pièces en céramique pour équipements de traitement des semi-conducteurs
Flasques isolantes à double port en alumine de haute pureté pour implanteurs d'ions. (Isolateur céramique à double port / Base de passage sous vide) Diamètre de base d'environ 50 mm ; hauteur de pilier d'environ 20-30 mm (selon le P/N spécifique).
Pièces en céramique pour équipements de traitement des semi-conducteurs
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Plaque de base céramique multi-trous de haute précision à grande échelle. (Support d'électrode céramique de précision / Plaque de support de chambre sous vide) Chambres sous vide pour implanteurs d'ions, bases de support pour têtes de pulvérisation PVD/CVD et plaques arrière d'électrodes haute tension.
Pièces en céramique pour équipements de traitement des semi-conducteurs
Consommables céramiques de haute précision pour l'implantation d'ions. Céramiques semi-conductrices, pièces d'implanteurs d'ions, isolateurs en alumine, usinage céramique de précision, base de source d'ions, passages sous vide.
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Céramiques de précision haut de gamme pour implanteurs d'ions.
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Comment pouvez-vous garantir que vos systèmes d'implanteurs d'ions maintiennent un fonctionnement stable sous des champs électriques intenses tout en minimisant le temps d'arrêt pour maintenance ?
Les isolants en alumine de haute pureté et les composants d'électrode de Touch-Down sont spécialement conçus pour résister aux bombardements d'ions et aux champs électriques intenses, offrant une résistance diélectrique exceptionnelle et une résistance remarquable à l'érosion par plasma. Notre fabrication de précision avec une tolérance de 0,0001 à 0,0003 mm garantit des performances fiables et prolonge considérablement le temps moyen entre les maintenances (MTBM), réduisant ainsi les temps d'arrêt de votre équipement et les coûts opérationnels.
S'appuyant sur 29 ans d'expertise professionnelle en fabrication et notre emplacement près du parc scientifique de Hsinchu à Taïwan, Touch-Down combine des équipements CNC de précision avancée, des systèmes de détection sophistiqués et une technologie de traitement raffinée pour fournir des solutions céramiques sur mesure adaptées à vos besoins spécifiques. Nos effecteurs de fin de bras de robot à haute dynamique présentent des ensembles de lames en céramique diversifiés, optimisés pour différentes tailles de wafers, offrant des conceptions légères et à haute rigidité qui améliorent la réponse dynamique lors des opérations de prise et de placement tout en minimisant les vibrations à l'extrémité du bras. Avec la certification ISO 9001:2008 et une capacité de production en une étape, nous garantissons un contrôle qualité strict et des performances constantes dans les applications de semi-conducteurs, photovoltaïques et de machines de précision. Contactez notre équipe d'ingénierie aujourd'hui pour discuter de la manière dont les composants en céramique de précision de Touch-Down peuvent optimiser les performances et la fiabilité de votre équipement de processus semi-conducteur.