סדרת רכיבי קרמיקה מתקדמים להשתלת יונים וטיפול מדויק.יישומים: השתלת יונים, מדידות אופטיות, הפקדה כימית של אדים (CVD), וטיפול אוטומטי באריזות מתקדמות
תכונות עיקריות:
*רכיבי דיוק למתקני יונים: מהונדסים במיוחד עבור מערכות השתלת יונים, כולל מבודדים במתח גבוה, טבעות מגן ורכיבי אלקטרודה. מיוצרים מאלומינה טהורה מאוד, חלקים אלה מציעים עמידות דיאלקטרית גבוהה ועמידות בפני פגיעות יונים לפעולה יציבה בשדות חשמליים אינטנסיביים.
* מחברים דינמיים גבוהים לרובוטים: מציג מערך מגוון של להבי קרמיקה מיטביים עבור גדלי וופרים שונים. העיצוב הקל והנוקשה מגביר את התגובה הדינמית בפעולות הרמה והנחה ומצמצם רעידות בקצה הזרוע.
* מערכות ערוצי ואקום משולבים: משתמש בחריטה מדויקת עבור ערוצי יניקת ואקום משולבים. מישוריות השטח נשמרת בסיבולות ברמת מיקרון, המבטיחה אחיזה בטוחה של הוופר תוך מזעור עקה ונזק לצד האחורי של הוופר.
עמידות סביבתית יוצאת דופן: מספק התנגדות מעולה לשחיקת פלזמה, קורוזיה ומחזורי חום. הרכיבים שלנו מצמצמים זיהום חלקיקים ומאריכים משמעותית את אורך חיי החלקים וזמן הטיפול התקופתי (MTBM).
ממוקם ליד פארק המדע של טייוואן השינצ'ו, העיר המוכרת בעולם למדע וטכנולוגיה, המפעל שלנו נהנה מיותר מ-25 שנות ניסיון מקצועי בייצור ועיבוד של קרמיקה מאלומינה, זירקוניה, ניטריד סיליקון ופחמן סיליקון. אנחנו גאים בכוח הטכני החזק, הציוד המתוחזק והניסיון העשיר בעיבוד. עכשיו יש לנו מספר מכונות CNC מדויקות, כלי עבודה מדויקים ומגוון טכנולוגיות עיבוד מובילות וכלים לעיבוד מתקדמים, כמו גם ציוד תצוגה מתקדם כדי להבטיח איכות ודיוק במוצר. אנחנו מסוגלים לייצר חלקי קרמיקה מדויקים במגוון מפרטים וסוגים לפי ציורי הלקוח. המוצרים שלנו מציעים דיוק גבוה, ביצועים טובים ומשמשים במידה רחבה בתחום החצי מוביל, הפוטווולטאי, המכונות המדויקות, הצבא, הרפואה, המחקר המדעי ותחומים נוספים.
אובייקט עיבוד
חלקי קרמיקה של מכונת השתלה בציוד תהליך סמי-מוליכים.
סוג
חלקי קרמיקה של מכונת השתלה.
מאפיינים עיקריים
Touch-Down מתיימרת בצוות של מהנדסים מצוינים ונהנית מטכנולוגיה ברמה גבוהה ייחודית בפרויקטים של עיבוד קרמיקה בצורות מיוחדות. טכנולוגיית עיבוד בצורות מיוחדות היא היתרון המרכזי של Touch-Down.
תהליך ייצור
חלקי קרמיקה סמי-מוליכים, קרמיקות של מכונת השתלה, בלוקים מבודדים מאלומינה, מיגון אלקטרודות, עמודי קרמיקה במתח גבוה, חלקי תחזוקה של מפעל.
המוצרים הראשיים
בורג קרמי, ציר קרמי, קרמיקה זירקוניה, מד גובה, מד טבעת, זרוע קרמית מאלומינה, דיסק קרמי, טבעת קרמית, צ'אק ואקום מיקרופורי קרמי, תשתית, קרמיקה, מסילות קרמיות, חלקים בצורות מיוחדות וכדומה. קרמיקות חצי-מוליכות, חלקי מכונת השתלת יונים, מבודדי אלומינה, עיבוד קרמי מדויק, בסיס מקור יונים, מעברים ואקום.
- גלריה
- חלקי קרמיקה למכשירי תהליך חצי מוליכים
- חלקי קרמיקה למכשירי תהליך חצי מוליכים
- מסגרת מדריך קרמית באיכות גבוהה / מיקום מבודד. מיוצרת מ- >99.7% אלומינה (Al2O3) באיכות גבוהה, רכיב זה מיועד לדרישות יציבות גבוהות בתוך חדרי ואקום של חצי מוליכים. הוא מציע יציבות ממדית יוצאת דופן ועמידות בפני פלזמה. חורי הפינה המנוקבים בדיוק מבטיחים יישור מדויק במהלך ההתקנה, בעוד שהפתיחה האליפטית מותאמת למזער הפרעות עם קרני יונים או זרימת גז תהליך.
- חלקי קרמיקה למכשירי תהליך חצי מוליכים
- פוסט מבודד מתח גבוה למקורות יונים. יישומים: חלקי חילוף למותגי מכונות השתלה יונים מובילים, כולל מערכות AMAT (Applied Materials) ו-Axcelis.
- מכסה מבודד קרמי קומפוזיט למכונות השתלה יונים. (מבודד קרמי מדורג / מגן אלקטרודה) יישומים: מיגון מקור יונים, תמיכה באלקטרודת האצה, והגנה על מעבר מתח גבוה.
- בסיס הרכבה קרמי מדויק עם מספר יציאות למכונות השתלה יונים. יישור מדויק של מקור יונים וחסימת בידוד. יישומים: תמיכה במודולים של מקור יונים, מיקום אלקטרודת חוט, ומחסומים במתח גבוה במערכות השתלת יונים.
- סט מבודדים קרמיים מדויקים מקוננים למכונות השתלה יונים. (מבודד מקור יונים מודולרי / בושינג אלקטרודה.) מיועד במיוחד לשימוש בחדרי מקור יונים של מערכות השתלה יונים במתח גבוה ובינוני.
- מבודד קרמי במתח גבוה עם מספר להבים למכונות השתלה יונים. (מבודד תמיכה באלקטרודה מסוג להבים) תמיכה באלקטרודות האצה במכונות השתלה יונים, בידוד מתח גבוה, והגנה על מעבר HV בחדר.
- חלקי קרמיקה למכשירי תהליך חצי מוליכים
- פלנג'ים מבודדים דו-יציאתיים מאלומינה טהורה למכונות השתלה יונים. (מבודד קרמי דו-יציאתי / בסיס מעבר ואקום) קוטר בסיס כ-50 מ"מ; גובה עמוד כ-20-30 מ"מ (בהתאם למספר החלק הספציפי).
- חלקי קרמיקה למכשירי תהליך חצי מוליכים
- חלקי קרמיקה למכשירי תהליך חצי מוליכים
- חלקי קרמיקה למכשירי תהליך חצי מוליכים
- חלקי קרמיקה למכשירי תהליך חצי מוליכים
- חלקי קרמיקה למכשירי תהליך חצי מוליכים
- לוח בסיס קרמי מדויק בקנה מידה גדול עם מספר חורים. (נשא אלקטרודה קרמית מדויק / לוח תמיכה לחדר ואקום) חדרי ואקום למכונות השתלה יונים, בסיסי תמיכה לראשי מקלחת PVD/CVD, ולוחות אחוריים לאלקטרודות במתח גבוה.
- חלקי קרמיקה למכשירי תהליך חצי מוליכים
- צריכה קרמית מדויקת למערכות השתלת יונים. קרמיקות סמי-מוליכות, חלקי מכונות השתלה יונים, מבודדי אלומינה, עיבוד קרמי מדויק, בסיס מקור יונים, מעברי ואקום.
- חלקי קרמיקה למכשירי תהליך חצי מוליכים
- חלקי קרמיקה למכשירי תהליך חצי מוליכים
- חלקי קרמיקה למכשירי תהליך חצי מוליכים
- קרמיקות מדויקות ברמה גבוהה למכונות השתלה יונים.
- חלקי קרמיקה למכשירי תהליך חצי מוליכים
- הורדת קבצים
קרמיקה מדויקת
Touch-Down - השותף המדויק והמקצועי ביותר לטווח הארוך. ברוכים הבאים לניסוי ולאימות.
Download
איך תוכל להבטיח שמערכות ההשתלה שלך יישארו פועלות בצורה יציבה תחת שדות חשמליים אינטנסיביים תוך צמצום זמן התחזוקה?
הבידוד והמרכיבים האלקטרודיים של Touch-Down עשויים מאלומינה טהורה גבוהה, ומעוצבים במיוחד כדי לעמוד בפני פגיעות יונים ושדות חשמליים אינטנסיביים, מה שמספק עמידות דיאלקטרית יוצאת דופן ועמידות מצוינת בפני שחיקת פלזמה. הייצור המדויק שלנו בטולרנס של 0.0001-0.0003 מ"מ מבטיח ביצועים אמינים ומאריך משמעותית את הזמן הממוצע בין תחזוקה (MTBM), מה שמפחית את זמן ההשבתה של הציוד שלך ואת עלויות התפעול.
בהתבסס על 29 שנות ניסיון מקצועי בייצור ומיקומנו ליד פארק המדע שינצ'ו בטייוואן, Touch-Down משלבת ציוד CNC מדויק מתקדם, מערכות גילוי מתקדמות וטכנולוגיית עיבוד משופרת כדי לספק פתרונות קרמיקה מותאמים אישית המותאמים לדרישות הספציפיות שלך. האפקטורים הסופיים של הרובוטים שלנו עם דינמיקה גבוהה כוללים מערכות להבים קרמיים מגוונות המותאמות לגודל ופרופיל של ופרים שונים, ומציעים עיצובים קלים עם קשיחות גבוהה שמגבירים את התגובה הדינמית במהלך פעולות הרמה והנחה, תוך צמצום רעידות בקצה הזרוע. עם הסמכת ISO 9001:2008 ויכולת ייצור של שלב אחד, אנו מבטיחים בקרת איכות קפדנית וביצועים עקביים בכל יישומי חצי המוליכים, פוטו-וולטאיים ומכונות מדויקות. צור קשר עם צוות ההנדסה שלנו היום כדי לדון כיצד רכיבי הקראמיקה המדויקים של Touch-Down יכולים לשפר את ביצועי ואמינות ציוד תהליך הסמיקונדוקטורים שלך.


