Các bộ phận gốm máy cấy ion | Touch-Down Gốm chính xác

Dòng sản phẩm linh kiện gốm tiên tiến cho cấy ion và xử lý chính xác.Các ứng dụng: Ghép ion, Đo lường quang học, Lắng đọng hơi hóa học (CVD), và xử lý tự động đóng gói tiên tiến

Các tính năng chính:

*Các thành phần chính xác cho máy cấy ion: Được thiết kế đặc biệt cho các hệ thống cấy ion, bao gồm cách điện cao áp, vòng chắn và các thành phần điện cực. Được chế tạo từ Alumina tinh khiết cao, các bộ phận này cung cấp độ bền điện môi vượt trội và khả năng chống lại sự bắn phá ion để hoạt động ổn định trong các trường điện mạnh.

* Các đầu cuối robot động lực cao: Có một loạt các lưỡi gốm đa dạng được tối ưu hóa cho các kích thước wafer khác nhau. Thiết kế nhẹ và có độ cứng cao nâng cao phản ứng động trong các hoạt động nhặt và đặt và giảm thiểu rung động ở cuối cánh tay.

* Hệ thống kênh chân không tích hợp: Sử dụng khắc chính xác cho các kênh hút chân không tích hợp. Độ phẳng bề mặt được giữ ở mức độ chính xác micron, đảm bảo xử lý wafer an toàn trong khi giảm thiểu căng thẳng vật lý và hư hại cho mặt sau của wafer.

Độ bền môi trường xuất sắc: Cung cấp khả năng chống ăn mòn, ăn mòn plasma và chu kỳ nhiệt độ tuyệt vời. Các thành phần của chúng tôi giảm thiểu ô nhiễm hạt và kéo dài đáng kể tuổi thọ của các bộ phận cũng như Thời gian Trung bình giữa các lần bảo trì (MTBM).

Hỏi ngay bây giờ

Nằm gần Khu Công nghệ Đài Loan Hsinchu, thành phố khoa học và công nghệ nổi tiếng thế giới, nhà máy của chúng tôi đã có hơn 25 năm kinh nghiệm sản xuất và chế biến chuyên nghiệp về sản xuất và chế biến gốm alumina, zirconia, nitrit silic, carbide silic. Chúng tôi tự hào về sức mạnh kỹ thuật, trang thiết bị tinh vi và kinh nghiệm xử lý phong phú. Hiện nay, chúng tôi có một số thiết bị CNC chính xác, máy công cụ chính xác và nhiều công nghệ xử lý hàng đầu và công cụ xử lý khác nhau cùng với các thiết bị kiểm tra tinh vi để đảm bảo chất lượng và độ chính xác của sản phẩm. Chúng tôi có thể sản xuất các bộ phận gốm chính xác với nhiều thông số kỹ thuật, loại hình khác nhau theo bản vẽ của khách hàng. Sản phẩm của chúng tôi có độ chính xác cao, hiệu suất tốt và được sử dụng rộng rãi trong ngành bán dẫn, điện mặt trời, máy móc chính xác, quân sự, y tế, nghiên cứu khoa học và các lĩnh vực khác.

Đối tượng chế tạo

Các bộ phận gốm implant thiết bị quy trình bán dẫn.

Loại

Các bộ phận gốm implant.

Tính năng chính

Touch-Down tự hào sở hữu một nhóm kỹ sư xuất sắc và tận hưởng một công nghệ độc đáo và nổi bật trong các dự án xử lý gốm đặc biệt. Công nghệ xử lý hình dạng đặc biệt là điểm mạnh của Touch-Down.

Quy trình sản xuất

Các bộ phận gốm bán dẫn, gốm ion implant, khối cách điện alumina, bảo vệ điện cực, cột gốm cao áp, các bộ phận bảo trì fab.

Các sản phẩm chính

Bu lông gốm, trục gốm, gốm zirconia, thước đo phích cắm, thước đo vòng, tay gốm alumina, đĩa gốm, vòng gốm, chấu chân không gốm vi lỗ, nền tảng, gốm, ray gốm, các mảnh hình đặc biệt và nhiều hơn nữa. Gốm bán dẫn, các bộ phận máy ion cấy, cách điện alumina, gia công gốm chính xác, cơ sở nguồn ion, các bộ phận thông qua chân không.

Bộ Sưu Tập Ảnh

Các bộ phận gốm của thiết bị quy trình bán dẫn Implanter
Các bộ phận gốm của thiết bị quy trình bán dẫn Implanter
Khung hướng dẫn gốm cao cấp / Vị trí cách điện. Được sản xuất từ hơn 99,7% Alumina (Al2O3) cao cấp, thành phần này được thiết kế cho các yêu cầu ổn định cao trong các buồng chân không bán dẫn. Nó có độ ổn định kích thước xuất sắc và khả năng chống plasma. Các lỗ góc khoan chính xác đảm bảo căn chỉnh chính xác trong quá trình lắp đặt, trong khi lỗ hình oval được tối ưu hóa để giảm thiểu sự can thiệp với các chùm ion hoặc dòng khí quy trình.
Các bộ phận gốm của thiết bị quy trình bán dẫn Implanter
Cột cách điện cao áp nguồn ion. Ứng dụng: Các bộ phận thay thế cho các thương hiệu máy cấy ion hàng đầu, bao gồm hệ thống AMAT (Applied Materials) và Axcelis.
Vỏ cách điện gốm composite cho máy cấy ion. (Cách điện gốm dạng bậc / Bảo vệ điện cực) Ứng dụng: Bảo vệ nguồn ion, hỗ trợ điện cực tăng tốc và bảo vệ thông qua cao áp.
Đế gốm lắp đặt đa cổng chính xác cho máy cấy ion. Khối cách điện và căn chỉnh chính xác nguồn ion. Ứng dụng: Hỗ trợ cho các mô-đun nguồn ion, định vị điện cực sợi đốt và rào cản cao áp trong hệ thống cấy ion.
Bộ cách điện gốm chính xác lồng ghép cho máy cấy ion. (Cách điện nguồn ion mô-đun / Bushing điện cực.) Được thiết kế đặc biệt để sử dụng trong các buồng nguồn ion của hệ thống cấy ion dòng cao và trung bình.
Cách điện gốm cao áp nhiều cánh cho máy cấy ion. (Cách điện hỗ trợ điện cực dạng cánh) Hỗ trợ cho các điện cực tăng tốc trong máy cấy ion, cách ly nguồn điện cao áp và bảo vệ thông qua HV trong buồng.
Các bộ phận gốm của thiết bị quy trình bán dẫn Implanter
Flange cách điện hai cổng alumina tinh khiết cao cho máy cấy ion. (Cách điện gốm hai cổng / Đế thông qua chân không) Đường kính đế khoảng 50mm; chiều cao cột khoảng 20-30mm (tùy thuộc vào P/N cụ thể).
Các bộ phận gốm của thiết bị quy trình bán dẫn Implanter
Các bộ phận gốm của thiết bị quy trình bán dẫn Implanter
Các bộ phận gốm của thiết bị quy trình bán dẫn Implanter
Các bộ phận gốm của thiết bị quy trình bán dẫn Implanter
Các bộ phận gốm của thiết bị quy trình bán dẫn Implanter
Bảng gốm nhiều lỗ chính xác quy mô lớn. (Giá đỡ điện cực gốm chính xác / Bảng hỗ trợ buồng chân không) Buồng chân không cho máy cấy ion, đế hỗ trợ cho đầu phun PVD/CVD và bảng điện cực cao áp.
Các bộ phận gốm của thiết bị quy trình bán dẫn Implanter
Vật tư gốm chính xác cao cho cấy ion. Gốm bán dẫn, bộ phận máy cấy ion, cách điện alumina, gia công gốm chính xác, đế nguồn ion, thông qua chân không.
Các bộ phận gốm của thiết bị quy trình bán dẫn Implanter
Các bộ phận gốm của thiết bị quy trình bán dẫn Implanter
Các bộ phận gốm của thiết bị quy trình bán dẫn Implanter
Gốm chính xác cao cấp cho máy cấy ion.
Các bộ phận gốm của thiết bị quy trình bán dẫn Implanter

Tải Xuống Tệp