Keramikteile für Ionenimplantatoren | Touch-Down Präzisionskeramiken
Touch-Down stellt präzise Keramikteile für Ionenimplantatoren mit einer Toleranz von 0,0001-0,0003 mm her. Hochreine Alumina-Isolatoren, Vakuumdurchführungen und Elektrodenkomponenten für Halbleiterausrüstung.
Erweiterte Keramische Komponentenserie für Ionenimplantation und präzise Handhabung.Anwendungen: Ionenimplantation, optische Metrologie, chemische Dampfabscheidung (CVD) und automatisierte Handhabung fortschrittlicher Verpackungen
Hauptmerkmale:
*Präzisionskomponenten für Ionenimplantationsanlagen: Speziell für Ionenimplantationssysteme entwickelt, einschließlich Hochspannungsisolatoren, Abschirmringen und Elektrodenkomponenten. Hergestellt aus hochreinem Aluminiumoxid bieten diese Teile eine überlegene dielektrische Festigkeit und Widerstandsfähigkeit gegen Ionenbeschuss für einen stabilen Betrieb in intensiven elektrischen Feldern.
* Hochdynamische Roboter-Endeffektoren: Verfügt über eine vielfältige Auswahl an Keramikklingen, die für verschiedene Wafergrößen optimiert sind. Das leichte, hochsteife Design verbessert die dynamische Reaktion während der Pick-and-Place-Operationen und minimiert Vibrationen am Ende des Arms.
* Integrierte Vakuumkanalsysteme: Nutzt präzises Ätzen für integrierte Vakuumsaugkanäle. Die Oberflächenebenheit wird auf Mikron-Toleranzen gehalten, um eine sichere Handhabung der Wafer zu gewährleisten und gleichzeitig physikalischen Stress und Schäden an der Rückseite des Wafers zu minimieren.
Außergewöhnliche Umweltbeständigkeit: Bietet hervorragenden Widerstand gegen Plasmaerosion, Korrosion und thermische Zyklen. Unsere Komponenten minimieren die Partikelkontamination und verlängern die Lebensdauer der Teile sowie die mittlere Zeit zwischen Wartungen (MTBM) erheblich.
In der Nähe des Science Park von Taiwan Hsinchu, der weltweit renommierten Wissenschafts- und Technologiestadt, genießt unser Werk mehr als 25 Jahre professionelle Produktion und Verarbeitung von Aluminiumoxid, Zirkonia, Siliziumnitrid, Siliziumkarbid-Keramikproduktion und -verarbeitung. Wir verfügen über eine starke technische Kraft, raffinierte Ausrüstung und reiche Verarbeitungserfahrung. Jetzt haben wir mehrere präzise CNC-Ausrüstungen, Präzisionswerkzeuge und eine Vielzahl von führenden Verarbeitungstechnologien und Verarbeitungswerkzeugen sowie anspruchsvolle Prüfausrüstungen, um Produktqualität und Präzision zu gewährleisten. Wir sind in der Lage, Präzisionskeramikteile nach Kundenzeichnungen in verschiedenen Spezifikationen und Typen herzustellen. Unsere Produkte zeichnen sich durch hohe Präzision, gute Leistung aus und werden in den Bereichen Halbleiter, Photovoltaik, Präzisionsmaschinen, Militär, Medizin, wissenschaftliche Forschung und anderen Bereichen weit verbreitet eingesetzt.
Verarbeitungsobjekt
Halbleiterprozessgeräte Keramikteile für Implantierer.
Typ
Keramikteile für Implantierer.
Hauptmerkmale
Touch-Down verfügt über eine Gruppe ausgezeichneter Ingenieure und genießt eine einzigartige hochkarätige Technologie in den Projekten zur Verarbeitung von Sonderkeramik. Die Verarbeitung von Sonderformen ist eine Stärke von Touch-Down.
Herstellungsprozess
Halbleiterkeramikteile, Ionenimplantiererkeramiken, Alumina-Isolatorblöcke, Elektrodenabschirmung, Hochspannungs-Keramiksäulen, Wartungsteile für die Fertigung.
Die Hauptprodukte
Keramische Schraube, keramischer Schaft, Zirkonia-Keramik, Steckerlehre, Ringlehre, Alumina-Keramikarm, keramische Scheibe, keramischer Ring, mikroporöser keramischer Vakuumspannstock, Substrat, Keramik, keramische Schienen, Sonderformen usw. Halbleiterkeramiken, Teile für Ionenimplantationsgeräte, Alumina-Isolatoren, präzise keramische Bearbeitung, Ionenquellenbasis, Vakuumdurchführungen.
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Halbleiterprozessgeräte Implantatkeramikteile
Halbleiterprozessgeräte Implantatkeramikteile
Hochreines keramisches Führungsrahmen / Isolierlocator. Hergestellt aus >99,7% hochreinem Aluminiumoxid (Al2O3) ist dieses Bauteil für hohe Stabilitätsanforderungen in Vakuumkammern der Halbleiterindustrie konzipiert. Es bietet außergewöhnliche dimensionsstabilität und Plasmaresistenz. Die präzise gebohrten Eckenlöcher gewährleisten eine genaue Ausrichtung während der Installation, während die ovale Öffnung optimiert ist, um Störungen mit Ionenstrahlen oder Prozessgasströmungen zu minimieren.
Halbleiterprozessgeräte Implantatkeramikteile
Ionquelle Hochspannungsisolatorpfosten. Anwendungen: Ersatzteile für führende Ionimplantatoren-Marken, einschließlich AMAT (Applied Materials) und Axcelis-Systeme.
Komposite Keramische Isolatorhülsen für Ionimplantatoren. (Stufenkeramischer Isolator / Elektrodenabschirmung) Anwendungen: Abschirmung der Ionquelle, Unterstützung der Beschleunigungselektrode und Hochspannungsdurchführungs-Schutz.
Präzisions-Multi-Port Keramische Montagesockel für Ionimplantatoren. Ionquelle Präzise Ausrichtung & Isolierblock. Anwendungen: Unterstützung für Ionquellenmodule, Positionierung der Filamentelektrode und Hochspannungsbarrieren in Ionimplantationssystemen.
Verschachteltes Präzisionskeramisches Isolator-Set für Ionimplantatoren. (Modularer Ionquellenisolator / Elektrodenbuchse.) Speziell für den Einsatz in den Ionquellenkammern von Hoch- und Mittelstrom-Ionimplantationssystemen entwickelt.
Multi-Vane Hochspannungs-Keramischer Isolator für Ionimplantatoren. (Schaufeltyp Elektrodenstützisolator) Unterstützung für Beschleunigungselektroden in Ionimplantatoren, Hochspannungsstromisolierung und Schutz der HV-Durchführungen in der Kammer.
Halbleiterprozessgeräte Implantatkeramikteile
Hochreine Alumina Dual-Port Isolierflansche für Ionimplantatoren. (Dual-Port Keramischer Isolator / Vakuumdurchführungsbasis) Basisdurchmesser ca. 50mm; Säulenhöhe ca. 20-30mm (je nach spezifischer P/N).
Halbleiterprozessgeräte Implantatkeramikteile
Halbleiterprozessgeräte Implantatkeramikteile
Halbleiterprozessgeräte Implantatkeramikteile
Halbleiterprozessgeräte Implantatkeramikteile
Halbleiterprozessgeräte Implantatkeramikteile
Großmaßstäbige Hochpräzisions-Multi-Loch Keramische Grundplatte. (Präziser keramischer Elektrodenträger / Vakuumkammerstützplatte) Vakuumkammern für Ionimplantatoren, Stützbasen für PVD/CVD-Duschköpfe und Hochspannungs-Elektrodenrückplatten.
Halbleiterprozessgeräte Implantatkeramikteile
Hochpräzise Keramische Verbrauchsmaterialien für die Ionimplantation. Halbleiterkeramiken, Teile für Ionimplantatoren, Alumina-Isolatoren, präzise keramische Bearbeitung, Ionquellenbasis, Vakuumdurchführungen.
Halbleiterprozessgeräte Implantatkeramikteile
Halbleiterprozessgeräte Implantatkeramikteile
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Hochwertige Präzisionskeramiken für Ionimplantatoren.
Halbleiterprozessgeräte Implantatkeramikteile
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Wie können Sie sicherstellen, dass Ihre Ionenimplantationssysteme unter intensiven elektrischen Feldern stabil arbeiten und gleichzeitig die Wartungszeiten minimieren?
Die Hochrein-Alumina-Isolatoren und Elektrodenkomponenten von Touch-Down sind speziell dafür ausgelegt, Ioneneinschlägen und intensiven elektrischen Feldern standzuhalten, und bieten außergewöhnliche dielektrische Festigkeit sowie hervorragende Widerstandsfähigkeit gegen Plasmaerosion. Unsere präzise Fertigung mit einer Toleranz von 0,0001-0,0003 mm gewährleistet eine zuverlässige Leistung und verlängert die mittlere Zeit zwischen Wartungen (MTBM) erheblich, wodurch die Ausfallzeiten Ihrer Geräte und die Betriebskosten gesenkt werden.
Mit 29 Jahren professioneller Fertigungserfahrung und unserer Lage in der Nähe des Hsinchu Science Parks in Taiwan kombiniert Touch-Down fortschrittliche Präzisions-CNC-Ausrüstung, ausgeklügelte Erkennungssysteme und verfeinerte Verarbeitungstechnologie, um maßgeschneiderte keramische Lösungen zu liefern, die auf Ihre spezifischen Anforderungen zugeschnitten sind. Unsere hochdynamischen Roboter-Endeffektoren verfügen über verschiedene keramische Klingenanordnungen, die für unterschiedliche Wafergrößen optimiert sind, und bieten leichte, hochsteife Designs, die die dynamische Reaktion während der Pick-and-Place-Operationen verbessern und gleichzeitig die Vibrationen am Ende des Arms minimieren. Mit der ISO 9001:2008-Zertifizierung und der Fähigkeit zur Ein-Schritt-Produktion gewährleisten wir strenge Qualitätskontrollen und eine konsistente Leistung in den Bereichen Halbleiter, Photovoltaik und Präzisionsmaschinen. Kontaktieren Sie noch heute unser Ingenieurteam, um zu besprechen, wie die präzisen Keramikelemente von Touch-Down die Leistung und Zuverlässigkeit Ihrer Halbleiterprozessgeräte optimieren können.