イオン注入器用セラミック部品 | Touch-Down精密セラミック

イオン注入および精密取り扱いのための高度なセラミックコンポーネントシリーズ。アプリケーション: イオン注入、光学計測、化学蒸着（CVD）、および高度なパッケージ自動ハンドリング

主な特徴：

*イオン注入装置用の精密部品：高電圧絶縁体、シールドリング、電極部品を含むイオン注入システム用に特別に設計されています。高純度アルミナから製造されており、これらの部品は優れた誘電強度とイオン衝撃に対する耐性を提供し、強力な電場での安定した動作を実現します。

* 高ダイナミックロボットエンドエフェクター：さまざまなウェーハサイズに最適化された多様なセラミックブレードを特徴としています。軽量で高剛性のデザインは、ピックアンドプレース操作中の動的応答を向上させ、アームの先端の振動を最小限に抑えます。

* 統合真空チャネルシステム：統合された真空吸引チャネルのために精密エッチングを利用しています。表面平坦度はマイクロレベルの公差を維持し、ウェーハの取り扱いを安全に行いながら、ウェーハの裏面への物理的ストレスと損傷を最小限に抑えます。

優れた環境耐久性：プラズマ侵食、腐食、熱サイクルに対する優れた耐性を提供します。当社のコンポーネントは粒子汚染を最小限に抑え、部品の寿命とメンテナンス間隔（MTBM）を大幅に延ばします。

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台湾新竹の科学公園に位置する当社の工場は、世界的に有名な科学技術の町に近く、アルミナ、ジルコニア、窒化ケイ素、炭化ケイ素セラミックの生産と加工において25年以上の豊富な経験を持っています。私たちは強力な技術力、洗練された設備、豊富な加工経験を誇っています。現在、私たちはいくつかの精密CNC機器、精密工作機械、さまざまな先進的な加工技術と加工ツール、そして高度な検出装置を備えており、製品の品質と精度を確保しています。お客様の図面に基づいて、さまざまな仕様やタイプの精密セラミック部品を製造することができます。当社の製品は高精度であり、優れた性能を備えており、半導体、太陽光発電、精密機械、軍事、医療、科学研究などのさまざまな分野で広く使用されています。

加工対象

半導体プロセス装置の注入装置用セラミック部品。

タイプ

注入装置用セラミック部品。

主な特徴

Touch-Downは優れたエンジニアのグループを誇り、特殊形状セラミック加工プロジェクトで独自の高い技術を楽しんでいます。特殊形状加工技術はTouch-Downの強みです。

製造プロセス

半導体セラミック部品、イオン注入装置用セラミック、アルミナ絶縁体ブロック、電極シールド、高電圧セラミックポスト、ファブメンテナンス部品。

主な製品

セラミックボルト、セラミックシャフト、ジルコニアセラミック、プラグゲージ、リングゲージ、アルミナセラミックアーム、セラミックディスク、セラミックリング、微多孔セラミック真空チャック、基板、セラミック、セラミックレール、特別形状部品など。半導体セラミック、イオン注入装置部品、アルミナ絶縁体、精密セラミック加工、イオン源ベース、真空フィードスルー。

ギャラリー

半導体プロセス装置インプランタセラミック部品
半導体プロセス装置インプランタセラミック部品
高純度セラミックガイドフレーム / 絶縁ロケーター。99.7%以上の高純度アルミナ（Al2O3）から製造されており、このコンポーネントは半導体真空チャンバー内での高い安定性要件に対応するよう設計されています。優れた寸法安定性とプラズマ耐性を備えています。精密にドリルされたコーナーホールは、取り付け時の正確なアライメントを保証し、楕円形の開口部はイオンビームやプロセスガスの流れとの干渉を最小限に抑えるよう最適化されています。
半導体プロセス装置インプランタセラミック部品
イオンソース高電圧絶縁体ポスト。用途：AMAT（アプライドマテリアルズ）やAxcelisシステムを含む主要なイオン注入装置ブランドの交換部品。
イオン注入装置用複合セラミック絶縁体スリーブ。（段階的セラミック絶縁体 / 電極シールド）用途：イオンソースシールド、加速電極サポート、高電圧フィードスルー保護。
イオン注入装置用精密マルチポートセラミックマウンティングベース。イオンソース精密アライメント＆絶縁ブロック。用途：イオンソースモジュールのサポート、フィラメント電極の位置決め、イオン注入システムにおける高電圧バリア。
イオン注入装置用ネスト精密セラミック絶縁体セット。（モジュラーイオンソース絶縁体 / 電極ブッシング。）高電流および中電流イオン注入システムのイオンソースチャンバーでの使用のために特別に設計されています。
イオン注入装置用マルチベーン高電圧セラミック絶縁体。（ベーン型電極サポート絶縁体）イオン注入装置における加速電極のサポート、高電圧電源の絶縁、チャンバー内HVフィードスルー保護。
半導体プロセス装置インプランタセラミック部品
イオン注入装置用高純度アルミナデュアルポート絶縁フランジ（デュアルポートセラミック絶縁体 / 真空フィードスルーベース）ベース直径約50mm；柱の高さ約20-30mm（特定のP/Nに応じて）。
半導体プロセス装置インプランタセラミック部品
半導体プロセス装置インプランタセラミック部品
半導体プロセス装置インプランタセラミック部品
半導体プロセス装置インプランタセラミック部品
半導体プロセス装置インプランタセラミック部品
大規模高精度マルチホールセラミックベースプレート。（精密セラミック電極キャリア / 真空チャンバーサポートプレート）イオン注入装置用の真空チャンバー、PVD/CVDシャワーヘッドのサポートベース、高電圧電極バックプレート。
半導体プロセス装置インプランタセラミック部品
イオン注入用高精度セラミック消耗品。半導体セラミック、イオン注入装置部品、アルミナ絶縁体、精密セラミック加工、イオンソースベース、真空フィードスルー。
半導体プロセス装置インプランタセラミック部品
半導体プロセス装置インプランタセラミック部品
半導体プロセス装置インプランタセラミック部品
イオン注入装置用の高級精密セラミック。
半導体プロセス装置インプランタセラミック部品

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