Piezas Cerámicas de Implantadores Iónicos | Touch-Down Cerámicas de Precisión
Touch-Down fabrica piezas cerámicas de implantadores iónicos con una tolerancia de 0.0001-0.0003mm. Aisladores de alúmina de alta pureza, pasos al vacío y componentes de electrodos para equipos de semiconductores.
Serie de Componentes Cerámicos Avanzados para Implantación Iónica y Manejo de Precisión.Aplicaciones: Implantación iónica, Metrología óptica, Deposición de vapor químico (CVD) y manejo automatizado de empaques avanzados
Características clave:
*Componentes de Precisión para Implantadores Iónicos: Diseñados específicamente para sistemas de Implantación Iónica, incluyendo aislantes de alta tensión, anillos de blindaje y componentes de electrodos. Fabricados con Alúmina de alta pureza, estas piezas ofrecen una superior resistencia dieléctrica y resistencia al bombardeo iónico para un funcionamiento estable en campos eléctricos intensos.
* Efectores Finales de Robot de Alta Dinámica: Presenta una diversa gama de cuchillas cerámicas optimizadas para varios tamaños de obleas. El diseño ligero y de alta rigidez mejora la respuesta dinámica durante las operaciones de recogida y colocación y minimiza las vibraciones en el extremo del brazo.
* Sistemas de Canales de Vacío Integrados: Utiliza grabado de precisión para canales de succión de vacío integrados. La planitud de la superficie se mantiene con tolerancias a nivel de micrones, garantizando un manejo seguro de la oblea mientras se minimiza el estrés físico y el daño en el reverso de la oblea.
Durabilidad Ambiental Excepcional: Proporciona una resistencia excepcional a la erosión por plasma, la corrosión y los ciclos térmicos. Nuestros componentes minimizan la contaminación de partículas y extienden significativamente la vida útil de las piezas y el Tiempo Medio Entre Mantenimientos (TMEM).
Ubicada cerca del Parque Científico de Taiwán Hsinchu, la ciudad de la ciencia y la tecnología de renombre mundial, nuestra planta cuenta con más de 25 años de experiencia profesional en la producción y procesamiento de cerámica de alúmina, circonia, nitruro de silicio y carburo de silicio. Nos enorgullece contar con una sólida fuerza técnica, equipos sofisticados y una amplia experiencia en procesamiento. Ahora contamos con varios equipos CNC de precisión, herramientas de máquinas de precisión y una variedad de tecnología de procesamiento líder y herramientas de procesamiento, así como equipos de detección sofisticados para garantizar la calidad y precisión del producto. Somos capaces de producir piezas de cerámica de precisión de una variedad de especificaciones y tipos según los dibujos del cliente. Nuestros productos se caracterizan por su alta precisión, buen rendimiento y son ampliamente utilizados en los sectores de semiconductores, fotovoltaica, maquinaria de precisión, militar, médica, investigación científica y otros campos.
Objeto de procesamiento
Partes de cerámica de implantador de equipos de proceso semiconductores.
Tipo
Partes de cerámica de implantador.
Características principales
Touch-Down cuenta con un grupo de excelentes ingenieros y disfruta de una tecnología de alto perfil única en los proyectos de procesamiento de cerámica con formas especiales. La tecnología de procesamiento con formas especiales es una de las fortalezas de Touch-Down.
Proceso de producción
Partes de cerámica semiconductora, cerámicas de implantador iónico, bloques de aislante de alúmina, blindaje de electrodos, postes de cerámica de alta tensión, partes de mantenimiento de fábrica.
Los principales productos
Perno de cerámica, eje de cerámica, cerámica de circonio, calibrador de enchufe, calibrador de anillo, brazo de cerámica de alúmina, disco de cerámica, anillo de cerámica, chuck de vacío de cerámica microporosa, sustrato, cerámica, rieles de cerámica, piezas de forma especial, etc. Cerámicas semiconductoras, piezas de implantador de iones, aislantes de alúmina, mecanizado de cerámica de precisión, base de fuente de iones, pasajes de vacío.
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Partes de Cerámica de Equipos de Proceso de Semiconductores Implanter
Partes de Cerámica de Equipos de Proceso de Semiconductores Implanter
Marco de guía cerámico de alta pureza / localizador aislante. Fabricado con >99.7% de alúmina (Al2O3) de alta pureza, este componente está diseñado para requisitos de alta estabilidad dentro de cámaras de vacío de semiconductores. Presenta una estabilidad dimensional excepcional y resistencia al plasma. Los agujeros en las esquinas perforados con precisión aseguran una alineación precisa durante la instalación, mientras que la apertura ovalada está optimizada para minimizar la interferencia con los haces de iones o el flujo de gas de proceso.
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Poste de Aislador de Alta Tensión para Fuente de Iones. Aplicaciones: Piezas de repuesto para las principales marcas de Implantadores de Iones, incluyendo sistemas AMAT (Applied Materials) y Axcelis.
Mangas de Aislador Cerámico Compuesto para Implantadores de Iones. (Aislador Cerámico Escalonado / Escudo de Electrodos) Aplicaciones: Protección de la fuente de iones, soporte del electrodo de aceleración y protección de paso de alta tensión.
Base de Montaje Cerámico de Precisión Multi-Puerto para Implantadores de Iones. Alineación de Precisión de la Fuente de Iones y Bloque Aislante. Aplicaciones: Soporte para módulos de fuente de iones, posicionamiento del electrodo de filamento y barreras de alta tensión en sistemas de Implantación de Iones.
Conjunto de Aisladores Cerámicos de Precisión Anidados para Implantadores de Iones. (Aislador Modular de Fuente de Iones / Manguito de Electrodos.) Diseñado específicamente para su uso en las cámaras de Fuente de Iones de sistemas de Implantación de Iones de Alta y Media Corriente.
Aislador Cerámico de Alta Tensión Multi-Ala para Implantadores de Iones. (Aislador de Soporte de Electrodos tipo Ala) Soporte para electrodos de aceleración en implantadores de iones, aislamiento de potencia de alta tensión y protección de paso HV en cámara.
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Flanges Aislantes de Doble Puerto de Alúmina de Alta Pureza para Implantadores de Iones. (Aislador Cerámico de Doble Puerto / Base de Paso de Vacío) Diámetro de la base aprox. 50mm; altura del pilar aprox. 20-30mm (dependiendo del P/N específico).
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Placa Base Cerámica Multi-Hoyo de Alta Precisión a Gran Escala. (Porta Electrodos Cerámico de Precisión / Placa de Soporte de Cámara de Vacío) Cámaras de vacío para implantadores de iones, bases de soporte para cabezales de ducha PVD/CVD y placas traseras de electrodos de alta tensión.
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Consumibles Cerámicos de Alta Precisión para Implantación de Iones. Cerámicas Semiconductoras, Piezas de Implantadores de Iones, Aisladores de Alúmina, Mecanizado Cerámico de Precisión, Base de Fuente de Iones, Pasos de Vacío.
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Cerámicas de Precisión de Alta Gama para Implantadores de Iones.
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¿Cómo puedes asegurar que tus sistemas de implantación de iones mantengan una operación estable bajo campos eléctricos intensos mientras minimizas el tiempo de inactividad por mantenimiento?
Los aislantes de alúmina de alta pureza y los componentes de electrodos de Touch-Down están diseñados específicamente para resistir el bombardeo de iones y campos eléctricos intensos, proporcionando una excepcional resistencia dieléctrica y una destacada resistencia a la erosión por plasma. Nuestra fabricación de precisión con tolerancias de 0.0001-0.0003 mm garantiza un rendimiento confiable y extiende significativamente el Tiempo Medio Entre Mantenimientos (MTBM), reduciendo el tiempo de inactividad de su equipo y los costos operativos.
Aprovechando 29 años de experiencia profesional en fabricación y nuestra ubicación cerca del Parque Científico de Hsinchu en Taiwán, Touch-Down combina equipos CNC de precisión avanzada, sistemas de detección sofisticados y tecnología de procesamiento refinada para ofrecer soluciones cerámicas personalizadas adaptadas a sus requisitos específicos. Nuestros efectores finales de robot de alta dinámica cuentan con diversas matrices de cuchillas de cerámica optimizadas para varios tamaños de obleas, ofreciendo diseños ligeros y de alta rigidez que mejoran la respuesta dinámica durante las operaciones de recogida y colocación, al tiempo que minimizan las vibraciones en el extremo del brazo. Con certificación ISO 9001:2008 y capacidad de producción en un solo paso, garantizamos un estricto control de calidad y un rendimiento constante en aplicaciones de semiconductores, fotovoltaicas y maquinaria de precisión. Contacta a nuestro equipo de ingeniería hoy para discutir cómo los componentes cerámicos de precisión de Touch-Down pueden optimizar el rendimiento y la fiabilidad de tu equipo de proceso de semiconductores.