Siliziumkarbid (SiC) angewendet auf keramische Produkte
Siliziumkarbid (SiC) zeichnet sich durch eine Härte aus, die nur von Diamant und Bornitrid übertroffen wird, und besitzt eine hohe Verschleißfestigkeit, weshalb es für gleitende Teile (mechanische Dichtungen usw.) verwendet wird.
Darüber hinaus hat es einen hohen Young-Modul und einen kleinen Wärmeausdehnungskoeffizienten, weshalb es für Komponenten (optische Teile, Substrate usw.) verwendet wird, die hohe Präzision erfordern.
Da es sich um einen dichten gesinterten Körper handelt, kann es spiegelpoliert werden. Es weist eine hohe Temperaturbeständigkeit von über 1400°C und eine hervorragende chemische Stabilität mit Hitzeschockbeständigkeit auf.
Es kann zu SiC-Handschuhen, SiC-Hülsen, Plattenprodukten und dickwandigen Produkten verarbeitet werden.
Verarbeitete hochreine SiC-Materialien (hochreines SiC) von DCG werden häufig als Teile für die Halbleiterfertigung verwendet.
Präzisionskeramikbearbeitung von Siliziumkarbid (SiC):
Siliziumkarbid (SiC) Materialien haben eine höhere mechanische Festigkeit als synthetische Aluminiumoxid- und Siliziumnitridmaterialien, insbesondere in Bezug auf Temperaturbeständigkeit, Verschleißfestigkeit und Korrosionsbeständigkeit.
Hauptmerkmale:
- Bessere Verschleißfestigkeit.
- Bessere Korrosionsbeständigkeit.
- Ausgezeichnete Oxidationsbeständigkeit.
- Hohe Wärmeleitfähigkeit, gute Wärmeleitfähigkeit.
- Konstante Festigkeit unter Hochtemperaturbedingungen.
- Hohe Wärmeleitfähigkeit, gute Wärmeleitfähigkeit.
Anwendungen:
- Verschleißteile für Schleifmaschinen.
- Keramische Lager, Wärmetauscher.
- Teile für chemische Pumpen, verschiedene Düsen.
- Hochtemperatur-Schneidwerkzeuge, feuerfeste Platten.
- Mechanische Verschleißteile.
- Stahlreduktionsmaterialien, Abfangvorrichtungen.
- Andere Ersatzteile für die Halbleiterfertigung.
Eigenschaften von Siliziumkarbid (SiC)
| Allgemeine Eigenschaften | Reinheit der Hauptkomponenten (Gew.-%) | 97 | ||
|---|---|---|---|---|
| Farbe | Schwarz | |||
| Dichte (g/cm³) | 3.1 | |||
| Wasseraufnahme (%) | 0 | |||
| Mechanische Eigenschaften | Biegefestigkeit (MPa) | 400 | ||
| Elastizitätsmodul (GPa) | 400 | |||
| Vickers-Härte (GPa) | 20 | |||
| Thermische Eigenschaften | Maximale Betriebstemperatur (°C) | 1600 | ||
| Thermal expansion coefficient (1/°C x 10-6) | RT~500°C | 3.9 | ||
| RT~800°C | 4.3 | |||
| Wärmeleitfähigkeit (W/m x K) | 130 110 | |||
| Thermoschockbeständigkeit ΔT (°C) | 300 | |||
| Elektrische Eigenschaften | Volumenwiderstand | 25°C | 3 x 106 | |
| 300°C | - | |||
| 500°C | - | |||
| 800°C | - | |||
| Dielektrische Konstante | 10GHz | - | ||
| Dielectric loss (x 10-4) | - | |||
| Q Factor (x 104) | - | |||
| Dielektrische Durchschlagspannung (KV/mm) | - | |||