Auf Keramikprodukt angewandtes Aluminiumoxid
Feinkeramik, Hochleistungskeramik, Aluminiumoxidkeramik, Al₂O₃
Die Präzisionskeramikteile, die von Touch-Down Technology hergestellt werden, können aus hochreinen keramischen Rohstoffen, 92~97% Aluminiumoxid, 99,5% Aluminiumoxid, 99,9% Aluminiumoxid und CIP-Kaltisostatischem Pressen hergestellt werden. Hochtemperatursintern und Präzisionsbearbeitung, Maßgenauigkeit von ± 0,001 mm, Oberflächengüte bis Ra0,1, Einsatztemperatur bis zu 1600 Grad. Je nach Kundenwunsch können verschiedene Farben von Keramik hergestellt werden, wie zum Beispiel: schwarz, weiß, beige, dunkelrot, usw. Die präzisen Keramikteile, die von unserem Unternehmen hergestellt werden, sind beständig gegen hohe Temperaturen, Korrosion, Verschleiß und Isolierung und können lange Zeit in Umgebungen mit hoher Temperatur, Vakuum und korrosiven Gasen verwendet werden.
Weit verbreitet in einer Vielzahl von Halbleiterproduktionsgeräten: Rahmen (Keramikhalterung), Kuppel (Abdeckung), Substrat (Basis), Arm (Manipulator), Tablett, Rolle, Kleinteil, Bolzen (Gewindezähne), Schrauben und anderen Produkten.
Anwendung von hochreinen Aluminiumoxid-Keramiken
1. Angewendet auf Halbleiterausrüstung: keramischer Vakuumspannfutter, Schneidscheibe, Reinigungsscheibe, keramisches SPANNFUTTER
2. Wafer-Transferkomponenten: Wafer-Handhabungsspannfutter, Wafer-Schneidscheiben, Wafer-Reinigungsscheiben, Saugnäpfe für die optische Inspektion von Wafern
3. LED-/LCD-Flachbildschirmindustrie: keramische Düse, keramische Schleifscheibe, HUBSTIFT, PIN-Schiene
4. Optische Kommunikation, Solarindustrie: keramische Röhren, keramische Stäbe, Leiterplatten-Siebdruckkeramikschaber
5. Hitzebeständige und elektrisch isolierende Teile: keramische Lager
Derzeit können Aluminiumoxid-Keramiken in hochreine und gewöhnliche Keramiken unterteilt werden. Die Serie der hochreinen Aluminiumoxid-Keramiken bezieht sich auf das keramische Material, das mehr als 99,9% Al₂O₃ enthält. Aufgrund ihrer Sintertemperatur von bis zu 1650 - 1990°C und ihrer Übertragungswellenlänge von 1 ~ 6μm, es wird normalerweise zu Glas verschmolzen anstatt zu einem Platin-Schmelztiegel verarbeitet: Dies kann aufgrund seiner Lichtdurchlässigkeit und Korrosionsbeständigkeit gegenüber Alkalimetallen als Natriumröhre verwendet werden. In der Elektronikindustrie kann es als hochfrequentes Isolationsmaterial für IC-Substrate verwendet werden. Je nach unterschiedlichen Gehalten an Aluminiumoxid können die gängigen Aluminiumoxid-Keramikserien in 99-Keramik, 95-Keramik, 90-Keramik und 85-Keramik unterteilt werden. Manchmal wird die Keramik mit 80% oder 75% Aluminiumoxid auch als gewöhnliche Aluminiumoxid-Keramikserie eingestuft. Unter ihnen wird zu 99% Aluminiumoxid-Keramikmaterial verwendet, um Hochtemperatur-Schmelztiegel, feuerfeste Ofenrohre und spezielle verschleißfeste Materialien wie Keramiklager, Keramikdichtungen und Ventilplatten herzustellen. 95 Aluminiumkeramik wird hauptsächlich als korrosionsbeständiges, verschleißfestes Bauteil verwendet. 85 Keramik wird oft in einigen Eigenschaften gemischt, wodurch die elektrische Leistungsfähigkeit und die mechanische Festigkeit verbessert werden. Es kann Molybdän, Niob, Tantal und andere Metallabdichtungen verwenden, und einige werden als elektrische Vakuumgeräte verwendet.
| Qualitätsartikel (repräsentativer Wert) | Produktname | AES-12 | AES-11 | AES-11C | AES-11F | AES-22S | AES-23 | AL-31-03 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Chemische Zusammensetzung Natriumarmes, leicht sinterndes Produkt | H₂O | % | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
| L.O.l | % | 0.1 | 0.2 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | |
| Fe₂0₃ | % | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | |
| SiO₂ | % | 0.03 | 0.03 | 0.03 | 0.03 | 0.02 | 0,04 | 0,04 | |
| Na₂O | % | 0,04 | 0,04 | 0,04 | 0,04 | 0.02 | 0,04 | 0.03 | |
| MgO* | % | - | 0,11 | 0,05 | 0,05 | - | - | - | |
| Al₂0₃ | % | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | |
| Mittlerer Partikeldurchmesser (MT-3300, Laseranalyseverfahren) | μm | 0,44 | 0,43 | 0,39 | 0,47 | 1,1 | 2,2 | 3,0 | |
| α Kristallgröße | μm | 0,3 | 0,3 | 0,3 | 0,3 | 0,3 ~ 1,0 | 0,3 ~ 4 | 0,3 ~ 4 | |
| Bildungsdichte** | g/cm³ | 2,22 | 2,22 | 2,20 | 2,17 | 2,35 | 2,57 | 2,56 | |
| Sinterdichte** | g/cm³ | 3,88 | 3,93 | 3,94 | 3,93 | 3,88 | 3,77 | 3,22 | |
| Schrumpfungsrate der Sinterlinie** | % | 17 | 17 | 18 | 18 | 15 | 12 | 7 | |
*MgO wird nicht in die Berechnung der Reinheit von Al₂O₃ einbezogen.
*Kein Skalierpulver 29,4 MPa (300 kg/cm²), Sintertemperatur beträgt 1600°C.
AES-11 / 11C / 11F: Fügen Sie 0,05 ~ 0,1% MgO hinzu, die Sinterfähigkeit ist ausgezeichnet, daher ist es für Aluminiumoxidkeramik mit einer Reinheit von mehr als 99% anwendbar.
AES-22S: Gekennzeichnet durch hohe Formdichte und geringe Schrumpfrate der Sinterlinie, ist es für Schlickguss und andere großformatige Produkte mit erforderlicher Maßgenauigkeit anwendbar.
AES-23 / AES-31-03: Es hat eine höhere Formdichte, Thixotropie und eine niedrigere Viskosität als AES-22S.Ersteres wird für Keramik verwendet, während letzteres als Wasserreduzierer für feuerfeste Materialien verwendet wird und an Beliebtheit gewinnt.
Aluminiumoxid
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Hochreine Aluminiumoxidkeramik
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