Präzisionskeramikteile für Halbleiterprozessanlagen
Großflächige Kammerabschirmungen & präzise keramische Handhabungskomponenten. Touch-Down verfügt über eine Gruppe ausgezeichneter Ingenieure und genießt eine einzigartige hochkarätige Technologie in den Projekten zur Verarbeitung von Sonderkeramiken. Die Technologie zur Sonderbearbeitung ist die Stärke von Touch-Down.
Touch-Down produzierte Präzisionskeramikteile zeichnen sich durch gute strukturelle Festigkeit, hohe Temperaturbeständigkeit, hohe Druckbeständigkeit, gute Genauigkeit, gute Parallelität, hohe Dichte und gleichmäßige Organisation aus. Seit vielen Jahren wird es von der Halbleiterherstellung verwendet.
Dies demonstriert unsere außergewöhnlichen CNC-Fähigkeiten bei der Ausführung komplexer geometrischer Schnitte und der Einhaltung enger Toleranzen bei großen, ultraharten Keramikkörpern. Anwendungen: Plasma-Trockenätzen-Systeme, CVD/PVD-Kammerinnenschutz, Hochtemperatur-Diffusionsöfen und 300-mm automatisierte Wafer-Handhabungssysteme.
Verarbeitungsobjekt
Fähigkeit zur Herstellung von großformatigen Keramikkomponenten von 250mm bis 550mm, die die Verarbeitung von 300mm (12-Zoll) Wafern und fortschrittliche Verpackungswerkzeuge vollständig unterstützen.
Typ
Keramische Ringe Keramikteile.
Hauptmerkmale
Touch-Down produzierte Präzisionskeramikteile zeichnen sich durch gute Strukturfestigkeit, hohe Temperaturbeständigkeit, hohe Druckbeständigkeit, gute Genauigkeit, gute Parallelität, hohe Dichte und gleichmäßige Organisation aus.
Die Hauptprodukte
Keramikbolzen, Keramikwelle, Zirkonia-Keramik, Stecklehre, Ringlehre, Aluminiumoxid-Keramikarm, Keramikscheibe, Keramikring, mikroporöser keramischer Vakuumspannfutter, Substrat, Keramik, Keramikschienen, Sonderformteile und so weiter.
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Halbleiterausrüstung --- großformatige präzise Keramikteile (250mm - 550mm)
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Umfassende Präzisionskeramiken - Großformatige Ringe & maßgeschneiderte Halbleiterkomponenten. 300mm (12-Zoll) fortschrittliche Prozesskammer-Ringe, Ionenimplantationssysteme, CVD/PVD Dünnfilmabscheidung und hochdynamische Wafer-Handhabungsmodule.
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Halbleiterausrüstung --- großformatige präzise Keramikteile (250mm - 550mm)
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Keramik-Quarz-Hybrid-Präzisions-Endeffektor (Wafer-Handhabungsklinge) Optische Messtechnik-Handhabung, präzises Pick-and-Place in Vakuumumgebungen, CVD-Front-End-Module und fortschrittliche Prozesse, die empfindlich auf Partikelkontamination reagieren.
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Halbleiterausrüstung --- großformatige präzise Keramikteile (250mm - 550mm)
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Präzisionskeramikklemmring / Flansch für Halbleiter-Vakuumsysteme. Hochreiner Aluminiumsilikat-Klemmring mit einem Drei-Punkt-Haken-Design und präzise abgestuftem Innendurchmesser zur Sicherung von Kammerkomponenten.
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Präzisionskeramikkreis / Haltering für Halbleiterverarbeitungs-Kammern. Hochreiner Präzisionskeramikhalsring mit metallischen Montageschrauben und Ausrichtungsöffnungen für Halbleiter-Ätz- oder Abscheidegeräte.
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Halbleiterausrüstung --- großformatige präzise Keramikteile (250mm - 550mm)
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Hochpräzise keramische Gasverteilungsplatte für Halbleiterverarbeitung. Hochreiner Aluminiumsilikat-Disk mit radialen Gasrillen und präzisen Montagebohrungen für PVD/CVD-Kammergasverteilung.
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Großer präziser keramischer Isolatorring und geschlitzte Keramikscheibe für fortschrittliche Halbleiterverarbeitungskammern, erhältlich in Größen von 250mm bis 550mm.
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Halbleiterausrüstung --- großformatige präzise Keramikteile (250mm - 550mm)
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Wie können Sie sicherstellen, dass Ihre Plasma-Trockenätzung und CVD/PVD-Systeme eine konsistente Leistung mit präzisen keramischen Kammerabschirmungen aufrechterhalten?
Die Präzisionskeramikkammern von Touch-Down sind so konstruiert, dass sie extremen Temperaturen und Drücken standhalten, während sie außergewöhnliche Genauigkeit und Parallelität beibehalten. Unsere 29 Jahre Erfahrung in der Fertigung, kombiniert mit der ISO 9001-Zertifizierung, gewährleisten, dass Ihre Halbleiterausrüstung mit maximaler Effizienz arbeitet. Wir liefern Großformatkomponenten (250-550 mm), die die vollständige Verarbeitung von 300 mm Wafern unterstützen, mit maßgeschneiderten Ingenieurlösungen, die auf Ihre spezifischen Geräteanforderungen zugeschnitten sind. Kontaktieren Sie unser Team, um zu erfahren, wie unsere präzisen Keramiklösungen Ihre Prozesszuverlässigkeit optimieren können.
Unsere keramischen Halbleiterkomponenten—darunter keramische Bolzen, Wellen, Zirkonkeramikteile, Steckerlehren, Ringlehren, Aluminiakeramikhülsen, keramische Scheiben, Ringe, mikroporöse keramische Vakuumspannmittel und maßgeschneiderte Sonderformen—zeigen unsere außergewöhnlichen CNC-Fähigkeiten bei der Ausführung komplexer geometrischer Schnitte an großen, ultraharten Keramikkörpern. Jede Komponente durchläuft eine strenge Qualitätskontrolle, um eine gute Genauigkeit und ein einheitliches Design sicherzustellen, die den anspruchsvollen Spezifikationen entsprechen, die von Halbleiterfertigungsanlagen weltweit gefordert werden. Kontaktieren Sie Touch-Down noch heute, um zu besprechen, wie unsere präzisen Keramiklösungen die Leistung und Zuverlässigkeit Ihrer Halbleiterverarbeitungsgeräte verbessern können.


