セラミック製品へのアルミニウム酸化物の応用
ファインセラミックス、先進セラミックス、アルミナセラミックス、Al₂O₃
Touch-Downテクノロジーによって生産される高精度セラミックパーツは、高純度セラミック原料、92〜97％アルミナ、99.5％アルミナ、99.9％アルミナ、およびCIP冷間等方圧成形で作られることができます。 高温焼結と精密加工により、寸法精度は±0.001mm、表面仕上げはRa0.1まで、使用温度は1600度までです。 お客様の要望に応じて、黒、白、ベージュ、ダークレッドなど、さまざまな色の陶磁器を製作することができます。 当社が製造する高精度セラミック部品は、高温、腐食、摩耗、絶縁に耐性があり、高温、真空、腐食性ガス環境で長期間使用することができます。
さまざまな半導体製造装置で広く使用されています：フレーム（セラミックブラケット）、ドーム（カバー）、基板（ベース）、アーム（マニピュレータ）、トレイ、ローラー、小さな部品、ボルト（ねじ）、ねじなどの製品。
高純度アルミナセラミックスの応用
1. 半導体装置に適用される: セラミック真空チャック、切削ディスク、クリーニングディスク、セラミックチャック
2. ウェハ転送部品: ウェハハンドリングチャック、ウェハ切断ディスク、ウェハクリーニングディスク、ウェハ光学検査吸盤
3. LED / LCDフラットパネルディスプレイ産業: セラミックノズル、セラミック研削ディスク、リフトピン、ピンレール
4. 光通信、太陽エネルギー産業: セラミックチューブ、セラミックロッド、基板スクリーン印刷用セラミックスクレーパー
5. 耐熱性および電気絶縁性部品: セラミックベアリング
現在、アルミナセラミックスは高純度と一般セラミックスに分けられます。 高純度アルミナセラミックスシリーズは、99.9％以上のAl₂O₃を含むセラミック材料を指します。その焼結温度は1650〜1990°Cに達し、伝送波長は1〜 6μmの場合、通常はプラチナのるつぼの代わりに融合ガラスに加工されます。これは、アルカリ金属に対する光透過性と耐腐食性を持つため、ナトリウム管として使用することができます。 電子工業では、IC基板の高周波絶縁材として使用することができます。 アルミナの異なる含有量に基づいて、一般的なアルミナセラミックシリーズは99セラミック、95セラミック、90セラミック、85セラミックに分けることができます。 時々、アルミナ酸化物の80％または75％を含むセラミックスも一般的なアルミナ酸化物セラミックスシリーズとして分類されます。 その中で、99％のアルミナセラミック材料は、高温用のるつぼ、耐火炉管、セラミックベアリング、セラミックシール、バルブプレートなどの特殊耐摩耗材料の製造に使用されています。 95アルミナセラミックスは、腐食に強い耐摩耗部品として主に使用されます。 セラミックス85は、いくつかの特性によく混合され、電気性能と機械強度を向上させることがあります。 モリブデン、ニオブ、タンタルなどの金属シールを使用することができ、一部は電気真空装置として使用されています。
| 品質商品（代表値） | 製品名 | AES-12 | AES-11 | AES-11C | AES-11F | AES-22S | AES-23 | AL-31-03 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 化学組成低ナトリウム簡易焼結製品 | H₂O | % | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
| L.O.l | % | 0.1 | 0.2 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | |
| Fe₂0₃ | % | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | |
| SiO₂ | % | 0.03 | 0.03 | 0.03 | 0.03 | 0.02 | 0.04 | 0.04 | |
| Na₂O | % | 0.04 | 0.04 | 0.04 | 0.04 | 0.02 | 0.04 | 0.03 | |
| MgO* | % | - | 0.11 | 0.05 | 0.05 | - | - | - | |
| Al₂0₃ | % | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | |
| 中間粒子径（MT-3300、レーザー分析法） | μm | 0.44 | 0.43 | 0.39 | 0.47 | 1.1 | 2.2 | 3.0 | |
| α 結晶サイズ | μm | 0.3 | 0.3 | 0.3 | 0.3 | 0.3 ~ 1.0 | 0.3〜4 | 0.3〜4 | |
| 形成密度** | g/cm³ | 2.22 | 2.22 | 2.20 | 2.17 | 2.35 | 2.57 | 2.56 | |
| 焼結密度** | g/cm³ | 3.88 | 3.93 | 3.94 | 3.93 | 3.88 | 3.77 | 3.22 | |
| 焼結ラインの収縮率** | % | 17 | 17 | 18 | 18 | 15 | 12 | 7 | |
*Al₂O₃の純度計算にはMgOは含まれません。
*スケーリング粉末は29.4MPa（300kg/cm²）、焼結温度は1600°Cです。
AES-11 / 11C / 11F: 0.05〜0.1%のMgOを添加すると、焼結性が優れており、純度が99%以上のアルミナセラミックスに適しています。
AES-22S: 焼結ラインの高い成形密度と低い収縮率を特徴とし、スリップフォームキャスティングや寸法精度が必要な他の大型製品に適しています。
AES-23 / AES-31-03: AES-22Sよりも高い成形密度、チクソトロピー、低い粘度を持っています。前者は陶磁器に使用され、後者は防火材料の水減少剤として使用され、人気を集めています。
アルミニウム酸化物
ギャラリー
高純度アルミナセラミックス
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Touch-Down（CNC精密機研磨仕上げ製品）はボルトのサイズ精度を確保します。Touch-Downには原料から成形、焼結、平面研削、外部研削、CNCプログラム機加工、研磨、清掃包装、出荷までの完全な生産ラインが備わっています。
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