イオン注入および精密取り扱いのための高度なセラミックコンポーネントシリーズ。アプリケーション: イオン注入、光学計測、化学蒸着(CVD)、および高度なパッケージ自動ハンドリング
主な特徴: *イオン注入装置用の精密部品:高電圧絶縁体、シールドリング、電極部品を含むイオン注入システム用に特別に設計されています。高純度アルミナから製造されており、これらの部品は優れた誘電強度とイオン衝撃に対する耐性を提供し、強力な電場での安定した動作を実現します。 *...
主な特徴: *イオン注入装置用の精密部品:高電圧絶縁体、シールドリング、電極部品を含むイオン注入システム用に特別に設計されています。高純度アルミナから製造されており、これらの部品は優れた誘電強度とイオン衝撃に対する耐性を提供し、強力な電場での安定した動作を実現します。 *...