Cánh tay gốm cho việc điều khiển wafer của bán dẫn
Touch-Down đã sản xuất cánh tay gốm cho đĩa wafer của bộ truyền động bán dẫn có đặc tính cường độ cấu trúc tốt, chịu nhiệt cao, chịu áp lực cao, độ chính xác tốt, đồng đều, mật độ cao và tổ chức đồng nhất tốt. Trong nhiều năm qua, nó đã được sử dụng bởi nhà máy sản xuất bán dẫn.
Touch-Down tự hào sở hữu một nhóm kỹ sư xuất sắc và tận hưởng một công nghệ độc đáo và nổi bật trong các dự án xử lý gốm đặc biệt. Công nghệ xử lý hình dạng đặc biệt là điểm mạnh của Touch-Down.
Nằm gần Khu Công nghệ Đài Loan Hsinchu, thành phố khoa học và công nghệ nổi tiếng thế giới, nhà máy của chúng tôi đã có hơn 25 năm kinh nghiệm sản xuất và chế biến chuyên nghiệp về sản xuất và chế biến gốm alumina, zirconia, nitrit silic, carbide silic. Chúng tôi tự hào về sức mạnh kỹ thuật, trang thiết bị tinh vi và kinh nghiệm xử lý phong phú. Hiện nay, chúng tôi có một số thiết bị CNC chính xác, máy công cụ chính xác và nhiều công nghệ xử lý hàng đầu và công cụ xử lý khác nhau cùng với các thiết bị kiểm tra tinh vi để đảm bảo chất lượng và độ chính xác của sản phẩm. Chúng tôi có thể sản xuất các bộ phận gốm chính xác với nhiều thông số kỹ thuật, loại hình khác nhau theo bản vẽ của khách hàng. Sản phẩm của chúng tôi có độ chính xác cao, hiệu suất tốt và được sử dụng rộng rãi trong ngành bán dẫn, điện mặt trời, máy móc chính xác, quân sự, y tế, nghiên cứu khoa học và các lĩnh vực khác.
Đĩa cắt / mài gốm (dành cho bán dẫn)
Hình ảnh này cho thấy một bộ kẹp gắp wafer gốm chính xác được sử dụng trong thiết bị chế tạo bán dẫn. Các thành phần này hoạt động như các hiệu ứng cuối chuyển wafer trong các hệ thống xử lý wafer tự động, hỗ trợ việc di chuyển và định vị an toàn các wafer silicon trong suốt quá trình sản xuất.
Được chế tạo từ gốm kỹ thuật tinh khiết cao, những nĩa wafer này cung cấp:
Tạo ra lượng hạt thấp để tương thích với phòng sạch
Độ ổn định nhiệt cao cho môi trường xử lý
Độ cứng cơ học xuất sắc để hỗ trợ wafer chính xác
Kháng hóa chất cho điều kiện chế tạo bán dẫn
Các hình học nĩa khác nhau được thiết kế để hỗ trợ các đường kính wafer khác nhau (150mm / 200mm / 300mm) và kiến trúc thiết bị, bao gồm robot chuyển wafer, hệ thống căn chỉnh wafer, hệ thống kiểm tra wafer và các mô-đun nạp công cụ xử lý.
Các thành phần gốm này được sử dụng rộng rãi trong các nhà máy sản xuất bán dẫn, nền tảng tự động hóa xử lý wafer và thiết bị xử lý wafer đầu tiên.
Tính năng chính
Các bộ phận gốm chính xác do Touch-Down sản xuất có độ bền cơ học tốt, chịu nhiệt cao, chịu áp lực cao, độ chính xác tốt, độ song song tốt, mật độ cao và tổ chức đồng nhất.
Các sản phẩm chính
Ống nối gốm, Trục gốm, Gốm zirconia, Đo cắm, Đo vòng, Cánh tay gốm nhôm oxit, Đĩa gốm, Vòng gốm, Mâm hút chân không gốm vi mô rỗ, Bề mặt, Gốm, Ray gốm, Các mảnh hình đặc biệt và nhiều hơn thế nữa.
- Bộ Sưu Tập Ảnh
- Vòng đệm gốm、Vòng xử lý wafer、Cánh tay chuyển wafer bán dẫn、Thành phần robot xử lý wafer、Các bộ phận gốm bán dẫn
- Cánh tay gốm cho việc điều khiển wafer của các thiết bị bán dẫn
- Cánh tay gốm cho việc điều khiển wafer của các thiết bị bán dẫn
- Tiêu đề sản phẩm: Bộ gia nhiệt gốm chính xác đa vùng cho quy trình xử lý bán dẫn
- Cánh tay gốm cho việc điều khiển wafer của các thiết bị bán dẫn
- Cảm biến gốm chính xác cao (Lưỡi robot) cho việc xử lý bán dẫn. 「Xử lý wafer」、「Lưỡi robot」、「Cánh tay gốm」
- Cảm biến gốm hình U chính xác cao (Lưỡi robot). Lý tưởng cho các mô-đun thiết bị đầu cuối (EFEM), ALD, CMP và hệ thống tự động hóa khắc khô.
- Lưỡi robot gốm chính xác toàn diện & Các thành phần xử lý. Ứng dụng、Mô-đun thiết bị đầu cuối (EFEM), Đo lường & Kiểm tra wafer, quy trình PVD/CVD, Khắc, và xử lý lắp ráp/kiểm tra phía sau.
- Lưỡi chân không gốm chính xác với các kênh vi tích hợp. Ứng dụng, Hệ thống xử lý wafer tự động có năng suất cao, lắng đọng màng mỏng (CVD/ALD), Đường lithography, và các mô-đun xử lý wafer 300mm.
- Lưỡi robot gốm hiệu suất cao cho đóng gói & Kiểm tra bán dẫn. Thiết bị đóng gói bán dẫn, Hệ thống phân loại & kiểm tra wafer, và xử lý quy trình nướng ở nhiệt độ cao.
- Cánh tay gốm cho việc điều khiển wafer của các thiết bị bán dẫn
- Cánh tay gốm cho việc điều khiển wafer của các thiết bị bán dẫn
- Bộ kẹp chân không gốm chính xác đa chuỗi & Các bộ lắp cảm biến. Ứng dụng, Hệ thống kiểm tra wafer, Liên kết wafer, Lắp ráp và kiểm tra phía sau (OSAT), và thiết bị phân tích bề mặt.
- Dòng sản phẩm cảm biến gốm chính xác toàn diện (Lưỡi robot). Ứng dụng, tự động hóa EFEM, CVD, Khắc, Khuếch tán/RTP, và Đo lường/Kiểm tra wafer.
- Cánh tay gốm cho việc điều khiển wafer của các thiết bị bán dẫn
- Gia nhiệt Gốm Chính Xác & Các bộ phận Xử lý Chân không. Ứng dụng: Lắng đọng hơi hóa học (CVD/ALD), Khắc Plasma, Mô-đun Đầu cuối Thiết bị (EFEM) và thăm dò tấm wafer nhiệt độ cao.
- Lưỡi Robot Gốm Độ Chính Xác Cao với Các Kênh Chân Không Tích Hợp. Ứng dụng: Hệ thống xử lý tấm wafer 300mm, Kiểm tra Quang học Tự động (AOI), Công cụ Đo lường/Đo màng mỏng và Mô-đun chuyển Chân không Cao.
- Bộ sưu tập Toàn diện các Lưỡi Robot Gốm & Mâm cặp Chân không Cấp Bán dẫn. Ứng dụng: Mô-đun Đầu cuối Thiết bị (EFEM), Chuyển buồng chân không cao, Kiểm tra/đo lường tấm wafer và Dây chuyền kiểm tra tự động OSAT.
- Cánh tay gốm cho việc điều khiển wafer của các thiết bị bán dẫn
- Tải Xuống Tệp
Gốm Sứ Chính Xác
Touch-Down - Đối tác lâu dài chính xác và chuyên nghiệp nhất. Chào mừng bạn đến thử nghiệm và chứng minh.
Tải xuống
Làm thế nào bạn có thể đảm bảo không có ô nhiễm và độ chính xác tối đa trong việc xử lý wafer trong quy trình sản xuất bán dẫn của bạn?
Các tay cầm gốm chính xác của Touch-Down cho việc điều khiển wafer mang lại độ chính xác cực cao với độ dung sai từ 0.0001-0.0003mm và tạo ra ít hạt bụi, được thiết kế đặc biệt cho môi trường bán dẫn trong phòng sạch. 29 năm kinh nghiệm sản xuất và chứng nhận ISO 9001 của chúng tôi đảm bảo chất lượng và độ tin cậy nhất quán cho các hệ thống tự động hóa xử lý wafer của bạn. Liên hệ với chúng tôi hôm nay để thảo luận về các giải pháp tùy chỉnh tương thích với thiết bị hiện có của bạn từ Applied Materials, Lam Research, TEL hoặc Hitachi.
Công nghệ chế biến gốm sứ hình dạng đặc biệt của chúng tôi đại diện cho một sức mạnh cốt lõi của Touch-Down, cho phép thiết kế và sản xuất các cánh tay gốm tùy chỉnh được điều chỉnh để hỗ trợ các đường kính wafer khác nhau (150mm, 200mm, 300mm) và kiến trúc thiết bị. Dù là cho robot chuyển wafer, thiết bị căn chỉnh wafer, hệ thống kiểm tra wafer, hay các mô-đun tải công cụ quy trình, các cơ sở sản xuất được chứng nhận ISO 9001:2008 của chúng tôi kết hợp thiết bị CNC chính xác, máy công cụ tiên tiến và hệ thống phát hiện tinh vi để đảm bảo chất lượng đồng nhất và thời gian giao hàng đáng tin cậy. Chúng tôi hoan nghênh các yêu cầu với bản vẽ kỹ thuật hoặc mẫu và cung cấp dịch vụ OEM toàn diện cùng các giải pháp tùy chỉnh đáp ứng các yêu cầu khắt khe của môi trường chế tạo bán dẫn hiện đại.


