Прецизионные керамические детали для полупроводников. | Touch-Down
Touch-Down производит высокоточные керамические детали для оборудования полупроводниковой обработки с точностью допуска 0.0001-0.0003 мм и сертификатом ISO 9001.
Точные керамические детали для оборудования полупроводникового процесса
Широкомасштабные защитные экраны и компоненты для точной обработки керамики. Touch-Down гордится группой отличных инженеров и обладает уникальной высокопрофильной технологией в проектах по обработке керамики сложной формы. Технология обработки сложной формы является сильной стороной Touch-Down.
Touch-Down производит прецизионные керамические детали, обладающие хорошей прочностью, высокой температурной стойкостью, высокой стойкостью к давлению, хорошей точностью, хорошей параллельностью, высокой плотностью и равномерной структурой. В течение многих лет они использовались полупроводниковыми производственными предприятиями.
Это демонстрирует наши исключительные возможности ЧПУ в выполнении сложных геометрических резов и поддержании строгих допусков на больших, ультра-твердых керамических телах. Применения: системы плазменного сухого травления, внутренние экраны камер CVD/PVD, высокотемпературные диффузионные печи и автоматизированные системы обработки пластин диаметром 300 мм.
Объект обработки
Возможность производства крупноформатных керамических компонентов размером от 250 мм до 550 мм, полностью поддерживающих обработку подложек 300 мм (12 дюймов) и передовые инструменты упаковки.
Тип
Керамические кольца и керамические детали.
Основные характеристики
Touch-Down производит керамические детали высокой точности, обладающие хорошей прочностью, высокой температурной стойкостью, высокой стойкостью к давлению, хорошей точностью, хорошей параллельностью, высокой плотностью и равномерной структурой.
Основные продукты
Керамический болт, керамический вал, циркониевая керамика, штекерный калибр, кольцевой калибр, алюминиевая керамическая рукоятка, керамический диск, керамическое кольцо, микропористый керамический вакуумный присоска, подложка, керамика, керамические рельсы, специальные формованные изделия и так далее.
- Галерея
Полупроводниковое оборудование --- крупномасштабные прецизионные керамические детали (250 мм - 550 мм)
Комплексные прецизионные керамики - крупногабаритные кольца и индивидуальные полупроводниковые компоненты. Кольца для камер передовых процессов 300 мм (12 дюймов), системы ионной имплантации, CVD/PVD осаждение тонких пленок и модули для обработки подложек с высокой динамикой.
Полупроводниковое оборудование --- крупномасштабные прецизионные керамические детали (250 мм - 550 мм)
Полупроводниковое оборудование --- крупномасштабные прецизионные керамические детали (250 мм - 550 мм)
Полупроводниковое оборудование --- крупномасштабные прецизионные керамические детали (250 мм - 550 мм)
Полупроводниковое оборудование --- крупномасштабные прецизионные керамические детали (250 мм - 550 мм)
Полупроводниковое оборудование --- крупномасштабные прецизионные керамические детали (250 мм - 550 мм)
Гибридный прецизионный керамический конечный эффектор (лезвие для обработки подложек) Оптическая метрология, прецизионный захват и размещение в вакуумных условиях, модули CVD переднего конца и передовые процессы, чувствительные к загрязнению частицами.
Полупроводниковое оборудование --- крупномасштабные прецизионные керамические детали (250 мм - 550 мм)
Прецизионное керамическое зажимное кольцо / фланец для полупроводниковых вакуумных систем. Зажимное кольцо из высокочистого алюминиевого оксида с трехточечным дизайном и прецизионным ступенчатым внутренним диаметром для закрепления компонентов камеры.
Прецизионное керамическое кольцо / удерживающее кольцо для камер обработки полупроводников. Удерживающее кольцо из высокочистой прецизионной керамики с металлическими монтажными вставками и вырезами для выравнивания для оборудования по травлению или осаждению полупроводников.
Полупроводниковое оборудование --- крупномасштабные прецизионные керамические детали (250 мм - 550 мм)
Полупроводниковое оборудование --- крупномасштабные прецизионные керамические детали (250 мм - 550 мм)
Полупроводниковое оборудование --- крупномасштабные прецизионные керамические детали (250 мм - 550 мм)
Высокопрецизионная керамическая пластина для распределения газа для обработки полупроводников. Диск из высокочистого алюминиевого оксида с радиальными газовыми канавками и прецизионными монтажными отверстиями для распределения газа в камерах PVD/CVD.
Крупное прецизионное керамическое изолирующее кольцо и перфорированный керамический диск для передовых камер обработки полупроводников, доступные в размерах от 250 мм до 550 мм.
Полупроводниковое оборудование --- крупномасштабные прецизионные керамические детали (250 мм - 550 мм)
Полупроводниковое оборудование --- крупномасштабные прецизионные керамические детали (250 мм - 550 мм)
- Связанные продукты
Керамическая рука для привода пластин полупроводников
Touch-Down производит керамическую руку для привода подложки...
Подробности- Загрузка файлов
Прецизионная керамика
Touch-Down - Самый точный и профессиональный долгосрочный партнер. Добро пожаловать на...
Скачать
Скачать Популярные продукты
Как вы можете гарантировать, что ваши системы плазменного сухого травления и CVD/PVD поддерживают стабильную производительность с прецизионными керамическими защитными экранами камер?
Керамические камеры Touch-Down спроектированы для того, чтобы выдерживать экстремальные температуры и давления, обеспечивая при этом исключительную точность и параллельность. Наши 29 лет опыта в производстве в сочетании с сертификацией ISO 9001 гарантируют, что ваше полупроводниковое оборудование работает с максимальной эффективностью. Мы поставляем крупноформатные компоненты (250-550 мм), поддерживающие полную обработку пластин диаметром 300 мм с индивидуальными инженерными возможностями, адаптированными под ваши конкретные требования к оборудованию. Свяжитесь с нашей командой, чтобы узнать, как наши прецизионные керамические решения могут оптимизировать надежность вашего процесса.
Наши керамические полупроводниковые компоненты — включая керамические болты, валы, детали из циркониевой керамики, пробные gauges, кольцевые gauges, алюминиевые керамические руки, керамические диски, кольца, микропористые керамические вакуумные зажимы и специальные детали нестандартной формы — демонстрируют наши исключительные возможности ЧПУ в выполнении сложных геометрических резов на больших, ультра-твердых керамических телах. Каждый компонент проходит строгий контроль качества, чтобы обеспечить хорошую точность и единообразную организацию, соответствующую строгим требованиям, предъявляемым к заводам по производству полупроводников по всему миру. Свяжитесь с Touch-Down сегодня, чтобы обсудить, как наши прецизионные керамические решения могут улучшить производительность и надежность вашего оборудования для обработки полупроводников.