Keramische arm voor waferaandrijving van halfgeleiders
Touch-Down produceerde een keramische arm voor de waferaandrijving van halfgeleiders met goede structurele sterkte, hoge temperatuurbestendigheid, hoge drukbestendigheid, goede nauwkeurigheid, goede paralleliteit, hoge dichtheid en gelijkmatige organisatie. Het wordt al vele jaren gebruikt door de halfgeleiderfabriek.
Ā
Touch-Down beschikt over een groep uitstekende ingenieurs en geniet van een unieke hoogwaardige technologie in de projecten voor de verwerking van speciaal gevormde keramiek. Speciaalvormige verwerkingstechnologie is de kracht van Touch-Down.
Gelegen nabij het Science Park van Taiwan Hsinchu, de wereldberoemde wetenschaps- en technologiestad, geniet onze fabriek al meer dan 25 jaar van professionele productie- en verwerkingservaring op het gebied van alumina, zirkonia, siliciumnitride, siliciumcarbide keramische productie en verwerking. We beschikken over een sterke technische kracht, verfijnde apparatuur en rijke verwerkingservaring. Nu hebben we verschillende precisie CNC-apparatuur, precisie machinegereedschap en een verscheidenheid aan toonaangevende verwerkingstechnologie en verwerkingstools, evenals geavanceerde detectieapparatuur om de kwaliteit en precisie van het product te waarborgen. We zijn in staat om precisie keramische onderdelen te produceren volgens verschillende specificaties en types volgens klantentekeningen. Onze producten kenmerken zich door hoge precisie, goede prestaties en worden veel gebruikt in de halfgeleider-, fotovoltaĆÆsche, precisie-machine-, militaire, medische, wetenschappelijke onderzoeks- en andere vakgebieden.
Keramische snij-/slijpschijf (voor halfgeleiders)
Deze afbeelding toont een set van precisie keramische wafer-handling vorken die worden gebruikt in apparatuur voor de fabricage van halfgeleiders. Deze componenten fungeren als wafer-overdrachtseffectoren in geautomatiseerde wafer-handlingsystemen, die een veilige beweging en positionering van siliciumwafers gedurende het productieproces ondersteunen.
Ā
Gemaakt van hoogzuivere technische keramiek, bieden deze wafergabels:
Ā
Lage deeltjesgeneratie voor cleanroomcompatibiliteit
Ā
Hoge thermische stabiliteit voor procesomgevingen
Ā
Uitstekende mechanische stijfheid voor nauwkeurige waferondersteuning
Ā
Chemische bestendigheid voor omstandigheden in de halfgeleiderfabricage
Ā
Verschillende gabelgeometrieƫn zijn ontworpen om verschillende waferdiameters (150mm / 200mm / 300mm) en apparatuurarchitecturen te ondersteunen, waaronder wafertransferrobots, waferaligners, waferinspectiesystemen en modules voor het laden van procesgereedschappen.
Ā
Deze keramische componenten worden veel gebruikt in halfgeleiderfabrieken, automatiseringsplatforms voor waferhandling en apparatuur voor waferverwerking aan de voorkant.
Belangrijkste kenmerken
Touch-Down geproduceerde precisie keramische onderdelen hebben een goede structurele sterkte, hoge temperatuurbestendigheid, hoge drukbestendigheid, goede nauwkeurigheid, goede paralleliteit, hoge dichtheid en uniforme organisatie.
De belangrijkste producten
Keramische bout, keramische as, zirkonia keramiek, plugmaat, ringmaat, alumina keramische arm, keramische schijf, keramische ring, microporeuze keramische vacuümklauw, substraat, keramiek, keramische rails, speciaal gevormde stukken enzovoort.
- Galerij
- Keramische waferring, Wafer-handlingsring, Halfgeleider wafer transferarm, Wafer-handlingsrobotcomponent, Halfgeleider keramische onderdelen
- Keramische arm voor waferaandrijving van halfgeleiders
- Keramische arm voor waferaandrijving van halfgeleiders
- Producttitel: Multi-Zone Precisie Keramische Verwarmer voor Halfgeleiderverwerking
- Keramische arm voor waferaandrijving van halfgeleiders
- Hoogprecisie keramische eindeffector (robotmes) voor halfgeleiderhandling. ćWafer HandlingćććRobotmesćććKeramische Armć
- Hoogprecisie U-vormige keramische eindeffector (robotmes). Ideaal voor EFEM (Equipment Front End Modules), ALD, CMP en droge etsingautomatiseringssystemen.
- Uitgebreide precisie-keramische robotbladen & Omgaan met componenten. Toepassingen, Front-endmodules van apparatuur (EFEM), Wafermetrologie & Inspectie, PVD/CVD-processen, etsen en back-end assemblage/testafhandeling.
- Precisie keramisch vacuümmes met geïntegreerde microkanalen. Toepassingen, hoogdoorvoersystemen voor automatische waferhandling, dunne-film depositie (CVD/ALD), lithografiebanen en 300 mm waferverwerkingsmodules.
- Hoge-prestatie keramisch robotmes voor halfgeleiderverpakking & testen. Halfgeleiderverpakkingsapparatuur, wafer sorteer- & testsystemen en handling van hoge-temperatuur bakprocessen.
- Keramische arm voor waferaandrijving van halfgeleiders
- Keramische arm voor waferaandrijving van halfgeleiders
- Multi-Serie Precisie Keramische Vacuümklemmen & Eindeffectorassemblages. Toepassingen, Waferinspectiesystemen, Waferbinding, Back-end assemblage en testen (OSAT) en oppervlakte-analyse-instrumentatie.
- Uitgebreide serie van precisie keramische eindeffectors (robotmessen). Toepassingen, EFEM-automatisering, CVD, etsen, diffusie/RTP en wafermetrologie/inspectie.
- Keramische arm voor waferaandrijving van halfgeleiders
- Precisie keramische verwarmings- en vacuümhandlingscomponenten. Toepassingen: Chemische dampafzetting (CVD/ALD), plasma-etsen, apparatuur front-endmodules (EFEM) en hoogtemperatuur waferproberen.
- Hoogprecisie keramische robotmes met geïntegreerde vacuümkanalen. Toepassingen: 300 mm waferhandlingssystemen, geautomatiseerde optische inspectie (AOI), metrologie/dunfilmmeetgereedschappen en hoogvacuümtransfermodules.
- Uitgebreide collectie van halfgeleiderkwaliteit keramische robotmessen en vacuümklemmen. Toepassingen: apparatuur front-endmodules (EFEM), hoogvacuümkamertransfer, waferinspectie/metrologie en OSAT geautomatiseerde testlijnen.
- Keramische arm voor waferaandrijving van halfgeleiders
- Bestanden downloaden
Precisie Keramiek
Touch-Down - De meest nauwkeurige en professionele langetermijnpartner. Welkom bij het uitproberen en bewijzen.
Downloaden
Hoe kunt u zero contaminatie en maximale precisie in het hanteren van wafers in uw halfgeleiderfabricageproces waarborgen?
De precisie-keramische armen van Touch-Down voor wafer-aandrijving bieden ultra-hoge nauwkeurigheid met een tolerantie van 0,0001-0,0003 mm en lage deeltjesgeneratie, speciaal ontworpen voor schone kamer halfgeleideromgevingen. Onze 29 jaar ervaring in de productie en ISO 9001-certificering garanderen consistente kwaliteit en betrouwbaarheid voor uw wafer-handlingsautomatiseringssystemen. Neem vandaag contact met ons op om aangepaste oplossingen te bespreken die compatibel zijn met uw bestaande apparatuur van Applied Materials, Lam Research, TEL of Hitachi.
Onze speciaal gevormde keramische verwerkingstechnologie vertegenwoordigt een kernkracht van Touch-Down, waarmee op maat gemaakte ontwerpen en productie van keramische armen mogelijk zijn, afgestemd op verschillende waferdiameters (150 mm, 200 mm, 300 mm) en apparatuurarchitecturen. Of het nu gaat om waferoverdrachtsrobots, waferuitlijners, waferinspectiesystemen of modules voor het laden van procesgereedschappen, onze ISO 9001:2008 gecertificeerde productiefaciliteiten combineren precisie CNC-apparatuur, geavanceerde machinegereedschappen en verfijnde detectiesystemen om consistente kwaliteit en betrouwbare doorlooptijden te waarborgen. Wij verwelkomen aanvragen met technische tekeningen of monsters en bieden uitgebreide OEM-diensten en op maat gemaakte oplossingen die voldoen aan de veeleisende eisen van moderne halfgeleiderfabricage-omgevingen.


