Keramische arm voor waferaandrijving van halfgeleiders

Touch-Down produceerde een keramische arm voor de waferaandrijving van halfgeleiders met goede structurele sterkte, hoge temperatuurbestendigheid, hoge drukbestendigheid, goede nauwkeurigheid, goede paralleliteit, hoge dichtheid en gelijkmatige organisatie. Het wordt al vele jaren gebruikt door de halfgeleiderfabriek.

Touch-Down beschikt over een groep uitstekende ingenieurs en geniet van een unieke hoogwaardige technologie in de projecten voor de verwerking van speciaal gevormde keramiek. Speciaalvormige verwerkingstechnologie is de kracht van Touch-Down.

Informeer nu

Gelegen nabij het Science Park van Taiwan Hsinchu, de wereldberoemde wetenschaps- en technologiestad, geniet onze fabriek al meer dan 25 jaar van professionele productie- en verwerkingservaring op het gebied van alumina, zirkonia, siliciumnitride, siliciumcarbide keramische productie en verwerking. We beschikken over een sterke technische kracht, verfijnde apparatuur en rijke verwerkingservaring. Nu hebben we verschillende precisie CNC-apparatuur, precisie machinegereedschap en een verscheidenheid aan toonaangevende verwerkingstechnologie en verwerkingstools, evenals geavanceerde detectieapparatuur om de kwaliteit en precisie van het product te waarborgen. We zijn in staat om precisie keramische onderdelen te produceren volgens verschillende specificaties en types volgens klantentekeningen. Onze producten kenmerken zich door hoge precisie, goede prestaties en worden veel gebruikt in de halfgeleider-, fotovoltaïsche, precisie-machine-, militaire, medische, wetenschappelijke onderzoeks- en andere vakgebieden.

Touch-Down is een professionele fabrikant van componenten voor halfgeleiderapparatuur. Onze belangrijkste producten zijn eindeffectoren, waferbladen, robotvorken, keramische armen en waferhandlingscomponenten. Compatibel met apparatuur van Applied Materials, Lam Research, TEL, Hitachi en andere toonaangevende internationale fabrikanten. We bieden OEM-diensten en op maat gemaakte oplossingen met betrouwbare doorlooptijden en consistente kwaliteit. Vragen met tekeningen of monsters zijn welkom.

Keramische snij-/slijpschijf (voor halfgeleiders)

Deze afbeelding toont een set van precisie keramische wafer-handling vorken die worden gebruikt in apparatuur voor de fabricage van halfgeleiders. Deze componenten fungeren als wafer-overdrachtseffectoren in geautomatiseerde wafer-handlingsystemen, die een veilige beweging en positionering van siliciumwafers gedurende het productieproces ondersteunen.

Gemaakt van hoogzuivere technische keramiek, bieden deze wafergabels:

Lage deeltjesgeneratie voor cleanroomcompatibiliteit

Hoge thermische stabiliteit voor procesomgevingen

Uitstekende mechanische stijfheid voor nauwkeurige waferondersteuning

Chemische bestendigheid voor omstandigheden in de halfgeleiderfabricage

Verschillende gabelgeometrieën zijn ontworpen om verschillende waferdiameters (150mm / 200mm / 300mm) en apparatuurarchitecturen te ondersteunen, waaronder wafertransferrobots, waferaligners, waferinspectiesystemen en modules voor het laden van procesgereedschappen.

Deze keramische componenten worden veel gebruikt in halfgeleiderfabrieken, automatiseringsplatforms voor waferhandling en apparatuur voor waferverwerking aan de voorkant.

Belangrijkste kenmerken

Touch-Down geproduceerde precisie keramische onderdelen hebben een goede structurele sterkte, hoge temperatuurbestendigheid, hoge drukbestendigheid, goede nauwkeurigheid, goede paralleliteit, hoge dichtheid en uniforme organisatie.

De belangrijkste producten

Keramische bout, keramische as, zirkonia keramiek, plugmaat, ringmaat, alumina keramische arm, keramische schijf, keramische ring, microporeuze keramische vacuümklauw, substraat, keramiek, keramische rails, speciaal gevormde stukken enzovoort.

Galerij

Keramische waferring, Wafer-handlingsring, Halfgeleider wafer transferarm, Wafer-handlingsrobotcomponent, Halfgeleider keramische onderdelen
Keramische arm voor waferaandrijving van halfgeleiders
Keramische arm voor waferaandrijving van halfgeleiders
Producttitel: Multi-Zone Precisie Keramische Verwarmer voor Halfgeleiderverwerking
Keramische arm voor waferaandrijving van halfgeleiders
Hoogprecisie keramische eindeffector (robotmes) voor halfgeleiderhandling. 「Wafer Handling」、「Robotmes」、「Keramische Arm」
Hoogprecisie U-vormige keramische eindeffector (robotmes). Ideaal voor EFEM (Equipment Front End Modules), ALD, CMP en droge etsingautomatiseringssystemen.
Uitgebreide precisie-keramische robotbladen & Omgaan met componenten. Toepassingen, Front-endmodules van apparatuur (EFEM), Wafermetrologie & Inspectie, PVD/CVD-processen, etsen en back-end assemblage/testafhandeling.
Precisie keramisch vacuümmes met geïntegreerde microkanalen. Toepassingen, hoogdoorvoersystemen voor automatische waferhandling, dunne-film depositie (CVD/ALD), lithografiebanen en 300 mm waferverwerkingsmodules.
Hoge-prestatie keramisch robotmes voor halfgeleiderverpakking & testen. Halfgeleiderverpakkingsapparatuur, wafer sorteer- & testsystemen en handling van hoge-temperatuur bakprocessen.
Keramische arm voor waferaandrijving van halfgeleiders
Keramische arm voor waferaandrijving van halfgeleiders
Multi-Serie Precisie Keramische Vacuümklemmen & Eindeffectorassemblages. Toepassingen, Waferinspectiesystemen, Waferbinding, Back-end assemblage en testen (OSAT) en oppervlakte-analyse-instrumentatie.
Uitgebreide serie van precisie keramische eindeffectors (robotmessen). Toepassingen, EFEM-automatisering, CVD, etsen, diffusie/RTP en wafermetrologie/inspectie.
Keramische arm voor waferaandrijving van halfgeleiders
Precisie keramische verwarmings- en vacuümhandlingscomponenten. Toepassingen: Chemische dampafzetting (CVD/ALD), plasma-etsen, apparatuur front-endmodules (EFEM) en hoogtemperatuur waferproberen.
Hoogprecisie keramische robotmes met geïntegreerde vacuümkanalen. Toepassingen: 300 mm waferhandlingssystemen, geautomatiseerde optische inspectie (AOI), metrologie/dunfilmmeetgereedschappen en hoogvacuümtransfermodules.
Uitgebreide collectie van halfgeleiderkwaliteit keramische robotmessen en vacuümklemmen. Toepassingen: apparatuur front-endmodules (EFEM), hoogvacuümkamertransfer, waferinspectie/metrologie en OSAT geautomatiseerde testlijnen.
Keramische arm voor waferaandrijving van halfgeleiders

Bestanden downloaden