Pièces en céramique de précision pour équipements de traitement des semi-conducteurs
Boucliers de chambre à grande échelle et composants de manipulation en céramique de précision. Touch-Down dispose d'un groupe d'excellents ingénieurs et bénéficie d'une technologie unique de haut niveau dans les projets de traitement de céramique en forme spéciale. La technologie de traitement en forme spéciale est le point fort de Touch-Down.
Touch-Down produit des pièces en céramique de précision présentant une bonne résistance structurelle, une haute résistance à la température, une haute résistance à la pression, une bonne précision, un bon parallélisme, une haute densité et une organisation uniforme. Depuis de nombreuses années, il est utilisé par l'usine de fabrication de semi-conducteurs.
Cela démontre nos capacités CNC exceptionnelles à exécuter des découpes géométriques complexes et à maintenir des tolérances strictes sur de grands corps en céramique ultra-durs. Applications : systèmes de gravure à sec au plasma, blindage interne de chambre CVD/PVD, fours de diffusion à haute température et systèmes de manipulation de wafers automatisés de 300 mm.
Objet de traitement
Capacité à produire des composants en céramique grand format allant de 250 mm à 550 mm, soutenant pleinement le traitement de wafers de 300 mm (12 pouces) et des outils d'emballage avancés.
Taper
Anneau en céramique pièces en céramique.
Caractéristiques principales
Les pièces en céramique de précision produites par Touch-Down présentent une bonne résistance structurelle, une résistance aux hautes températures, une résistance aux hautes pressions, une bonne précision, un bon parallélisme, une haute densité et une organisation uniforme.
Les principaux produits
Boulon en céramique, arbre en céramique, céramique de zircone, jauge de bouchon, jauge d'anneau, bras en céramique en alumine, disque en céramique, bague en céramique, mandrin en céramique microporeux, substrat en céramique, rails en céramique, pièces de forme spéciale, etc.
- Galerie
- Équipement semi-conducteur --- pièces en céramique de précision à grande échelle (250 mm - 550 mm)
- Céramiques de précision complètes - Anneaux à grande échelle et composants semi-conducteurs personnalisés. Anneaux de chambre de processus avancé de 300 mm (12 pouces), systèmes d'implantation ionique, dépôt de films minces CVD/PVD et modules de manipulation de wafers à haute dynamique.
- Équipement semi-conducteur --- pièces en céramique de précision à grande échelle (250 mm - 550 mm)
- Équipement semi-conducteur --- pièces en céramique de précision à grande échelle (250 mm - 550 mm)
- Équipement semi-conducteur --- pièces en céramique de précision à grande échelle (250 mm - 550 mm)
- Équipement semi-conducteur --- pièces en céramique de précision à grande échelle (250 mm - 550 mm)
- Équipement semi-conducteur --- pièces en céramique de précision à grande échelle (250 mm - 550 mm)
- Effector de fin de précision hybride céramique-quartz (lame de manipulation de wafer) Manipulation de métrologie optique, prise et placement de précision dans des environnements sous vide, modules frontaux CVD et processus avancés sensibles à la contamination par des particules.
- Équipement semi-conducteur --- pièces en céramique de précision à grande échelle (250 mm - 550 mm)
- Anneau de serrage en céramique de précision / Flasque pour systèmes sous vide semi-conducteurs. Anneau de serrage en céramique d'alumine de haute pureté avec un design à trois points et un diamètre intérieur à pas de précision pour sécuriser les composants de chambre.
- Anneau en céramique de précision / Anneau de retenue pour chambres de traitement semi-conducteurs. Anneau de retenue en céramique de précision de haute pureté avec inserts de montage en métal et découpes d'alignement pour équipements de gravure ou de dépôt semi-conducteurs.
- Équipement semi-conducteur --- pièces en céramique de précision à grande échelle (250 mm - 550 mm)
- Équipement semi-conducteur --- pièces en céramique de précision à grande échelle (250 mm - 550 mm)
- Équipement semi-conducteur --- pièces en céramique de précision à grande échelle (250 mm - 550 mm)
- Plaque de distribution de gaz en céramique de haute précision pour le traitement des semi-conducteurs. Disque en céramique d'alumine de haute pureté avec rainures radiales pour gaz et trous de montage de précision pour la distribution de gaz dans les chambres PVD/CVD.
- Grand anneau isolateur en céramique de précision et disque en céramique fendu pour chambres de traitement semi-conducteurs avancées, disponibles en tailles de 250 mm à 550 mm.
- Équipement semi-conducteur --- pièces en céramique de précision à grande échelle (250 mm - 550 mm)
- Équipement semi-conducteur --- pièces en céramique de précision à grande échelle (250 mm - 550 mm)
- Produits connexes
Bras en céramique pour le déplacement des plaquettes de semi-conducteurs
Touch-Down a produit un bras en céramique pour l'entraînement de la tranche de semi-conducteur,...
Détails- Téléchargement de fichiers
Céramiques de précision
Touch-Down - Partenaire le plus précis et professionnel à long terme. Bienvenue pour les essais et la validation.
Télécharger
Comment pouvez-vous garantir que vos systèmes de gravure à sec au plasma et CVD/PVD maintiennent des performances constantes avec des boucliers de chambre en céramique de précision?
La chambre en céramique de précision de Touch-Down est conçue pour résister à des températures et des pressions extrêmes tout en maintenant une précision et un parallélisme exceptionnels. Nos 29 années d'expertise en fabrication combinées à la certification ISO 9001 garantissent que votre équipement semi-conducteur fonctionne à son efficacité maximale. Nous livrons des composants grand format (250-550 mm) prenant en charge le traitement complet de wafers de 300 mm avec des capacités d'ingénierie personnalisées adaptées à vos exigences spécifiques en matière d'équipement. Contactez notre équipe pour découvrir comment nos solutions en céramique de précision peuvent optimiser la fiabilité de votre processus.
Nos composants semi-conducteurs en céramique—y compris des boulons en céramique, des arbres, des pièces en céramique de zirconium, des jauges de prise, des jauges en anneau, des bras en céramique d'alumine, des disques en céramique, des anneaux, des mandrins sous vide en céramique microporeuse et des pièces spéciales sur mesure—démontrent nos capacités CNC exceptionnelles à réaliser des découpes géométriques complexes sur de grands corps en céramique ultra-durs. Chaque composant subit un contrôle qualité rigoureux pour garantir une bonne précision et une organisation uniforme, répondant aux spécifications exigeantes requises par les usines de fabrication de semi-conducteurs dans le monde entier. Contactez Touch-Down aujourd'hui pour discuter de la manière dont nos solutions en céramique de précision peuvent améliorer la performance et la fiabilité de votre équipement de traitement des semi-conducteurs.


