用於半導體設備晶圓搬運系統的高精度陶瓷晶圓叉,適用於晶圓轉移、定位及自動化搬運模組。
達陣產出的半導體設備晶元盤傳動用陶瓷手臂,精密陶瓷零件結構強度好、耐高溫、耐高壓、精度好、平行度好、組織緻密均勻、強度高。長年以來一直為各半導體生產工廠所採用。達陣有一群優異的工程師,在陶瓷異形加工項目上有著獨特優異的技術,異形加工技術是達陣公司的強項。
半導體製程設備-離子植入 (Implanter) 陶瓷零件
技術特徵: 離子植入機專用精密組件: 針對離子植入機(Implanter)設計,包含高絕緣子、屏蔽環、引燃極等零件。採用高純度氧化鋁材質,具備極高的介電強度(Dielectric...