Poröser keramischer Vakuumspann | Touch-Down Präzision
Der poröse keramische Vakuumspann von Touch-Down verfügt über eine Porengröße von 2-3 Mikron und einen Aluminagehalt von 92 % für Anwendungen in der Halbleiter-, LCD- und Laserbearbeitung.
Poröser Keramik-Spanntisch, Präziser poröser Keramik-Teilvakuum-Spanntisch
Hochdichte keramische Vakuumspannplatte (poröse keramische Vakuumspannplatte) zeichnet sich durch die spezielle poröse keramische Materialporengröße von 2 bis 3 Mikron aus, die mit großer Vakuumkraft und Adsorption der Teilefläche schwer zu blockieren ist. Es kann auch als Luftflotationsplattform dienen und wird weit verbreitet in der Halbleiter-, Panel-, Laser- und berührungslosen Linearführung eingesetzt. Poröser keramischer Vakuumspannfutter behält die Übertragung durch hermetisch abgedichtete Luft aufrecht. Die Geräteanwendung ist auf Arbeitsplattformen für flache, nicht poröse Oberflächen beschränkt. Der Benutzer ist normalerweise ein Maschinenbediener. Im Bereich der Metallverarbeitung handelt es sich um einen sicheren und zuverlässigen Werkstücktransfer.
Der Arbeitstisch des automatisierten Transfers, des Objektzeichnens, der Positionierung und des präzisen Siebdrucks nutzt die poröse durchlässige Keramik (Aluminiumoxid oder Siliziumkarbid), die mit der Vakuumsaugung verbunden ist, um das Werkstück (einschließlich Wafer, Glas, PET-Folie oder andere dünne Objekte) auf den Keramikspannbacken zu platzieren und mit Vakuumsaugung das Werkstück für Reinigungs-, Schneid-, Schleif-, Siebdruck- und andere Verarbeitungsverfahren zu fixieren.
Keramikschneid- / Schleifscheibe (für Halbleiter)
Das Wafer-Klemmsystem umfasst nicht nur die Funktion des Wafer-Transports während des Prozesses, sondern legt auch die für die Bearbeitung erforderliche Arbeitslast auf den Wafer und stellt sicher, dass der Wafer unter der Einwirkung der Last keine Verformung erfährt. Daher ist die Leistung des Wafer-Klemmsystems von großer Bedeutung für die Verbesserung der Qualität des endgültigen Wafer-Produkts. Als Reaktion auf diese Nachfrage wird derzeit die am weitesten verbreitete Methode im Wafer-Spannsystem verwendet, um das Werkstück mit Hilfe des Vakuums und des negativen Drucks an der "Vakuumspannplatte" zu befestigen. Dies hat den Vorteil hoher Effizienz, keiner Verschmutzung, hoher Positioniergenauigkeit, hoher Abriebfestigkeit und niedrigem thermischen Ausdehnungskoeffizienten.
Verarbeitungsobjekt
Keramik-Vakuumspannfutter (poröses Keramik-Vakuumspannfutter).
Typ
Aluminiumoxid-Keramik-Spannfutter.
Hauptmerkmale
Touch-Down verfügt über eine Gruppe ausgezeichneter Ingenieure und genießt eine einzigartige hochkarätige Technologie in den Projekten zur Verarbeitung von Sonderkeramik. Die Verarbeitung von Sonderformen ist eine Stärke von Touch-Down.
Touch-Down produzierte Präzisionskeramikteile zeichnen sich durch gute strukturelle Festigkeit, hohe Temperaturbeständigkeit, hohe Druckbeständigkeit, gute Genauigkeit, gute Parallelität, hohe Dichte und gleichmäßige Organisation aus. Seit vielen Jahren wird es von der Halbleiterherstellung verwendet.
In der Nähe des Science Park von Taiwan Hsinchu, der weltweit renommierten Wissenschafts- und Technologiestadt, genießt unser Werk mehr als 25 Jahre professionelle Produktion und Verarbeitung von Aluminiumoxid, Zirkonia, Siliziumnitrid, Siliziumkarbid-Keramikproduktion und -verarbeitung. Wir verfügen über eine starke technische Kraft, raffinierte Ausrüstung und reiche Verarbeitungserfahrung. Jetzt haben wir mehrere präzise CNC-Ausrüstungen, Präzisionswerkzeuge und eine Vielzahl von führenden Verarbeitungstechnologien und Verarbeitungswerkzeugen sowie anspruchsvolle Prüfausrüstungen, um Produktqualität und Präzision zu gewährleisten. Wir sind in der Lage, Präzisionskeramikteile nach Kundenzeichnungen in verschiedenen Spezifikationen und Typen herzustellen. Unsere Produkte zeichnen sich durch hohe Präzision, gute Leistung aus und werden in den Bereichen Halbleiter, Photovoltaik, Präzisionsmaschinen, Militär, Medizin, wissenschaftliche Forschung und anderen Bereichen weit verbreitet eingesetzt.
Die Hauptprodukte
Keramikbolzen, Keramikwelle, Zirkonia-Keramik, Stecklehre, Ringlehre, Aluminiumoxid-Keramikarm, Keramikscheibe, Keramikring, mikroporöser keramischer Vakuumspannfutter, Substrat, Keramik, Keramikschienen, Sonderformteile und so weiter.
Spezifikation
Produktname: Poröser keramischer Vakuumspannfutter
Abmessungen: 200mm - 500mm x 30mm
Eigenschaften:
Hauptbestandteile: Aluminiumoxid
Farbe: Schwarz / Braun
Aluminiumoxidgehalt: 92%
Feuchtigkeitsgehalt: 0%
Porengröße: 2 ~ 3um
Porosität: 35 ~ 40%
Biegefestigkeit: 6 kgf / cm² (Mpa)
Volumenverhältnis: 2,28 g / cm³
- Dateien herunterladen
Präzisionskeramiken
Touch-Down - Genauester und professionellster langfristiger Partner. Willkommen zum Testen und zur Mustererstellung.
Download
Download Beliebte Produkte
Wie können Sie während der hochpräzisen Halbleiterbearbeitung mit überlegener Spannleistung eine Null-Deformation der Wafer sicherstellen?
Der poröse keramische Vakuumspannstock von Touch-Down bietet eine präzise Waferklemmen mit einer Porengröße von 2-3 Mikron und einer Alumina-Zusammensetzung von 92 %, wodurch Verformungen des Werkstücks unter Bearbeitungsbelastungen verhindert werden, während die hermetisch versiegelte Luftübertragung aufrechterhalten wird. Unsere Keramikkopf-Technologie wird seit über 25 Jahren von Halbleiterfertigungsanlagen vertraut, da sie die genaue Haltekraftverteilung und thermische Stabilität bietet, die für die fortschrittliche Waferbearbeitung erforderlich sind. Fordern Sie ein technisches Datenblatt an, um zu erfahren, wie unsere maßgeschneiderten keramischen Vakuumspannlösungen die Leistung und Präzision Ihrer Geräte verbessern können.
Touch-Down bietet maßgeschneiderte poröse keramische Vakuumspannlösungen, die nach Ihren genauen Spezifikationen entwickelt wurden, unterstützt durch strenge Qualitätskontrollen und die ISO 9001:2008-Zertifizierung. Unsere Präzisionskeramikspanntechnik eliminiert das Verziehen von Werkstücken während der Reinigungs-, Schneid-, Schleif- und Siebdruckvorgänge und gewährleistet gleichzeitig die hohe Positioniergenauigkeit und die geringe thermische Ausdehnung, die für die fortschrittliche Halbleiterfertigung unerlässlich sind. Mit hochentwickelter Detektionstechnik und spezialisierten Verarbeitungskapazitäten, die über 25 Jahre in der Nähe des Hsinchu Science Park in Taiwan verfeinert wurden, stellen wir sicher, dass jeder keramische Spannkopf-Tisch den japanischen Qualitätsstandards entspricht und überlegene Leistung in automatisierten Transfersystemen, Präzisionsmaschinenanwendungen und kontaktlosen Linearführungssystemen bietet. Kontaktieren Sie noch heute unser Ingenieurteam, um maßgeschneiderte keramische Vakuumspannplattenkomponenten zu besprechen, die für Ihre spezifischen Verarbeitungsanforderungen entwickelt wurden.