セラミック製品に応用される石英(SiO₂) | 科学、宇宙、半導体産業向けの高品質セラミックコンポーネント | Touch-Down Technology Co., Ltd.

半導体用石英 / Touch-Downは、高精度なセラミック部品のコンパクトな製造メーカーであり、原料の準備から成形、平面研削、内外径の研削加工、NCドリリングクルーのデジタル加工まで、製造と販売を統合した特殊セラミックス/高度セラミックス/特殊セラミックスの製造に特化しています。

半導体用石英

セラミック製品に応用される石英(SiO₂)

クォーツはその名前の通りガラスの一種ですが、一般的なガラスは多くの成分から成り立っているのに対して、クォーツはSiO₂のみで構成されています。クォーツは金属の不純物が非常に少量しか含まれておらず、最大で10ppm(百万分の一)までしかありません。最小の状態では通常10ppb(十億分の一)以下であり、その高純度のため、クォーツ自体が他のガラスでは表現できない特性と利点を持っています。


石英(SiO₂)材料は非常に低い熱膨張係数、高温耐性、高い耐摩耗性、良好な化学的安定性、電気絶縁性、低く安定した遅延、近紫外線(赤外線)可視光透過率、高い機械的特性などを特徴としています。
 
したがって、高純度の石英材料は現代の電子技術、半導体、通信、電気光源、太陽エネルギー、国防高精度計測器、実験室の物理化学器具、原子力、ナノ産業などで広く使用されています。
 
半導体の応用
半導体の製造プロセスでは、主に石英材料が石英管炉、石英ボート、石英リング、石英タンク、窓、プロセス装置などの関連する石英部品に使用されます。
石英の加工には、表面研削、研磨、円筒切断、切断、溝加工、曲線加工、特殊形状加工、超微細穴あけ、膜コーティングなどが含まれます。

石英の特性

1. 光の透過性が高い
石英の光の透過性は、可視光だけでなく、紫外線から赤外線までの波長の光にも優れた透過性があります。
2. 高純度
SiO₂のみで構成されているため、金属の不純物は微量しか含まれていません。
3. 耐熱性
軟化点が約1700°Cであり、1000°Cという高温でも使用することができます。熱膨張係数が小さく、急激な温度変化にも耐えることができます。
4. 薬品侵食耐性
優れた化学的耐性を持ち、非常に安定した化学特性を備えています。

石英材料の特性表
1. 材料の不純物含有量分析(SIO₂含有量:≥ 99.995%)
Fe Mg マンガン カリウム リチウム コバルト ニッケル ナトリウム ホウ素 チタン カルシウム アル
1.2 0.4 0.1 2.0 0.5 < 0.02 0.03 0.57 2.3 0.8 0.1 0.8 16
2. 光学テスト:屈折率と分散値(na = 1.45845)
カテゴリー 20°C UV IR 可視光
Na値 1.4586 ± 4 x 10-4 1.5341 - 1.4942 1.4251 - 1.47451 1.4698 - 1.45413
Mean dispersion and dispersion coefficient / Nf-Nc=0.00674 ±3 x 10-4 / Dispersion coefficient Y= 680
3. 熱試験
熱膨張係数 温度 °C 100 300 500 700 900 1100
Thermal Expansion Coefficient x 10-7 5.11 5.92 5.65 5.73 5.52 5.48
熱伝導率 W/m°C 温度 °C 20 100 200 300 400 950
熱伝導率 1.38 1.47 1.55 1.67 1.84 2.68
熱エネルギー率 J/Kg°C 温度 °C 20 100 500 900
熱エネルギー率 690 772 964 1052
4. 電気試験
電気性能 誘電率(E) 20°C 23°C 28°C
3.7 3.77 3.81
(Tgδ) 1 kHz 1-1000 MHz 3 x 10-4MHz
0.0005 0.0001 0.0004
抵抗率係数
(Ω cm)
20°C 400°C 800°C 1200°C
1016 1010 6.3 x 106 1.3 x 105
5. 材料と酸化物の反応
AIO₃ MgO CaO ZnO 酸化鉄 銅酸化物 バリウム酸化物 塩基酸化物 鉛酸化物
> 1200°C > 950°C > 1000°C > 800°C > 950°C > 950°C > 900°C > 800°C 溶融状態
6. 機械的特性
密度 2.21 g/cm³ 圧縮強度 6000N/mm²
160000psi
延伸強度 50 N/mm² トルク力 30 N/mm²
モース硬度 5.5 - 6.5 N/mm² トルク係数 3.1 x 104 N/mm² 曲げ耐久性 67 N/mm² 音速 5720m x s
7. 温度変化

耐久温度: 1000 - 1125°C
長期使用: 1100°C以下
アニール温度: 1180°C
短期使用: 1450°C
軟化点: 1600 - 1710°C
融点: 1730°C

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